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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서강대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 김낙수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2010-07 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100009724 |
과제고유번호 | 1425059860 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
별도의 베어링 없이 안정된 자기부상과 초정밀 위치 제어가 가능한, 자기부상 모터 시스템 개발
2. 개발내용 및 결과
- 최대부상력 50N, 최대회전력 20N, 정지시 진동량 20~50um이내, 회전시 진동량 30~100um이내, 회전 위치정밀도 100um이내의 급속열처리장치의 웨이퍼 회전용 자기부상 모터를 개발하였음
- TMS 28335를 사용한 자기부상용 DSP 제어기를 개발하였음
3. 사업성과
? 기술적 성과
- 상용화할 수 있는 센서 입력 최대 12channel, 아날로그 전
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