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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생명공학연구원 Korea Research Institute of Bioscience and Biotechnology |
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연구책임자 | 신용범 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 산학연전국협의회 |
등록번호 | TRKO201100010220 |
과제고유번호 | 1425052161 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
?질병질환 진단 및 환경 유해 물질 검출용 고감도 나노면역센서 개발
?시료 전처리 기능을 자체적으로 보유하며, 대량생산이 가능한 전기측정 방식의 소형 나노면역센서 개발
2. 개발내용 및 결과
? 현재 실제 반도체 및 미세패턴 공법에 사용되고 있는 steeper 공정을 이용하여 6인치 웨이퍼에서 400nm 갭사이즈, 갭 연장길이 6mm의 나노comb 센서 제조성공.
?이를 oxygen plasma isotropic etching 기술로서 140nm 갭사이즈 구현 성공.
?400nm 갭사이
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