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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국폴리텍Ⅳ 청주대학 |
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연구책임자 | 박종문 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-10 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100010361 |
과제고유번호 | 1420017142 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
종래 장치의 각종 제어부의 인터페이스를 별도로 구성하여 독자적인 제어가 가능하도록 하드웨어및 소프트웨어적인 콘드롤을 가능하게 하는 기술을 확보함에 목표가 있음.
2. 개발내용 및 결과
반도체 제조 장치에 인터페이스 하여 데이터를 처리하고 제어할수 있는 제어시스템을 구성하고 프로그램하여 성공적으로 연동실험 하였음.
3. 사업성과
○ 기술적 성과 : 인터페이스부 구성및 동작, 제어시스템부 구성및 동작, 제조장치 연동 제어 실험 성공
○ 경제적 성과 : 장치업그레이드 비용의 절감 및 해외지출
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