초록 ▼

1. 최종목표
종래 장치의 각종 제어부의 인터페이스를 별도로 구성하여 독자적인 제어가 가능하도록 하드웨어및 소프트웨어적인 콘드롤을 가능하게 하는 기술을 확보함에 목표가 있음.
2. 개발내용 및 결과
반도체 제조 장치에 인터페이스 하여 데이터를 처리하고 제어할수 있는 제어시스템을 구성하고 프로그램하여 성공적으로 연동실험 하였음.
3. 사업성과
○ 기술적 성과 : 인터페이스부 구성및 동작, 제어시스템부 구성및 동작, 제조장치 연동 제어 실험 성공
○ 경제적 성과 : 장치업그레이드 비용의 절감 및 해외지출

1. 최종목표
종래 장치의 각종 제어부의 인터페이스를 별도로 구성하여 독자적인 제어가 가능하도록 하드웨어및 소프트웨어적인 콘드롤을 가능하게 하는 기술을 확보함에 목표가 있음.
2. 개발내용 및 결과
반도체 제조 장치에 인터페이스 하여 데이터를 처리하고 제어할수 있는 제어시스템을 구성하고 프로그램하여 성공적으로 연동실험 하였음.
3. 사업성과
○ 기술적 성과 : 인터페이스부 구성및 동작, 제어시스템부 구성및 동작, 제조장치 연동 제어 실험 성공
○ 경제적 성과 : 장치업그레이드 비용의 절감 및 해외지출 절감, 장치 성능의 향상으로 제조 비용 절감 및 생산성 향상, 신규제품의 적용으로 사업성 향상
○ 활용성과 등 : 장치의 기능을 향상하여 제조 성능을 높임, 장치의 독자 제어를 위한 기초 기술을 확보
4. 향후추진계획
적용 모델의 기능및 성능향상을 위한 업그레이드, 다른 장치 모델의 인터 페이스를 위한 분석및 적용, 불용 장치의 제어시스템 개조로 장치 리모델링, 신규 장치의 디자인및 제어시스템 개발

목차 Contents

• 표지...1
• 사업비 사용실적보고서 ...2
• 3. 과제별 세부 집행내역...3
• Ⅰ. 조성 금액 ...3
• Ⅱ. 과제개발비 집행내역 ...3
• 개발결견의견서 ...5
• 최종보고요약서(초록) ...6
• 제 1장 서 론 ...7
• 제 1 절 반도체 산업 현황 ...7
• 제 2 절 반도체 장치 국산화 현황 ...7
• 제 3 절 제어분야의 반도체 장치기술 ...7
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법 ...8
• 제 1 절 목표 ...8
• 제 2 절 내용 ...8
• 제 3 절 방법 ...12
• 제 3 장 사업성과 ...13
• 제 1 절 기술적 성과 ...13
• 제 2 절 경제적 성과 ...13
• 제 3 절 활용성과 등 ...13
• 제 4 장 결 론 ...14
• 제 1 절 개발 결과 ...14
• 제 2 절 향후추진계획 ...14