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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 Kumoh National Institute of Technology |
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연구책임자 | 박경석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100011814 |
과제고유번호 | 1425053071 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
1) 정량적 목표
- 스테이지의 정밀한 이송시스템 : ㎛급 정밀도
- 검사능력의 정량적 수치 : 5㎛정도의 particle또는 dark spot 구별
- 소형 패널의 검사 능력 및 처리 속도 : 3~5인치, 5분 이내
2) 정성적 목표
- 디스플레이 검사용 정밀이송장치 개발
- 비젼검사 장치 운용 소프트웨어 개발
- OLED 시편 검사 지그 개발
2. 개발내용 및 결과
- 정밀 화상 촬영을 위한 제진대형 BODY구성
- 다양한 용도에 대응 가능한 정밀 이송장치
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