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NTIS 바로가기주관연구기관 | 충남대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 윤순길 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-06 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100012324 |
과제고유번호 | 1425051817 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
1. 최종목표
; 차세대 비휘발성 메모리 개발 및 사업화를 위한 CVD/ ALD 전구체에 대한 신물질 및 선도형 공정기술 개발
? 상변화 메모리(PRAM)용 Ge, Sb, Te 전구체개발
: 박막 증착 시 리간드의 분해가 쉬우며 리액터에 도달할 때까지 일정온도에서 열분해가 되지 않고 열적으로 안정한 화합물 전구체개발
? 개발된 상변화 메모리(PRAM)용 전구체를 이용한 선도형 공정기술 확립
: 개발된 유기금속전구체의 분해조건 및 공정조건변화를 통한 CVD/ALD를 이용한 공정제어 기술 확립
: 2:1
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