초록 ▼

1. 최종목표
? Dry Vacuum Pump 및 Booster Pump 각 1기종 개발
2. 개발내용 및 결과
? 압축열에 의한 변형, 소음, 고발열 등을 협력기관에서 근본적으로 규명함으로써 원천적 기술 확보하여 본 개발품에 적용하였다.
? 저진공에서 고진공 진행시 발생될 수 있는 문제점등을 기술적 Data로 규명하였다.
? 0.5Pa까지 안정된 배기성능을 유지하는 반도체디바이스(Semiconductor device), 액정패널(Liquid crystal panel), 태양전지판 제조공정용 고 효율 Dr

1. 최종목표
? Dry Vacuum Pump 및 Booster Pump 각 1기종 개발
2. 개발내용 및 결과
? 압축열에 의한 변형, 소음, 고발열 등을 협력기관에서 근본적으로 규명함으로써 원천적 기술 확보하여 본 개발품에 적용하였다.
? 저진공에서 고진공 진행시 발생될 수 있는 문제점등을 기술적 Data로 규명하였다.
? 0.5Pa까지 안정된 배기성능을 유지하는 반도체디바이스(Semiconductor device), 액정패널(Liquid crystal panel), 태양전지판 제조공정용 고 효율 Dry Vacuum Pump를 개발 완료하였다.
? 펌프 내의 압력이 흡입측으로부터 토출측까지 완만하게 상승하여 생성물의 발생을 억제하는 Dry Vacuum Pump를 개발 완료하였다.
? 이상 압축을 억제, Pump의 실배기량을 충분히 활용함으로 소비전력절감 및 Running Cost 절감효과를 가지며 다항방정식에 의해 Lead 및 경사각이 변화하는 Screw Rotor를 활용한 Dry Booster Pump 및 Dry Vacuum Pump 개발 완료하였다.
? Dry Vacuum Pump 및 Booster Pump 각 1기종 개발 완료
3. 사업성과
? 기술적 성과 : 부등(不等) Lead, 부등 경사각 Screw Type은 세계 최초의 기술로서 양산 판매시 FAB의 규모가 줄어 들고 보다 안정된 진공도를 유지함으로서 반도체 및 태양전지, 평판디스플레이 제품의 품질안정화에 핵기적으로 기여할 수 있을것으로 기대된다.
장비제조에 있어 18%국산화의 현실에서 향후 미래지향적인 Line의 도입시 새로운 배기시스템의 근본 기술이 없이는 여전히 기술 속국의 현실에 안주하게 될것임이 분명하다.
이러한 현실에서 부등(不等) Lead, 부등 경사각 Screw Type을 활용한 Dry Booster Pump 및 Back up Pump를 이용한 새로운 배기시스템 기술의 개발은 국내 관련 산업의 기술적 욕구를 충분히 만족시켜 줄 새로운 대안이 될 수 있을 것이다.
? 경제적 성과 : 본 Dry Pump는 특히, 반도체 디바이스(Semiconductor device) 제조 공업, 액정 패널(Liquid crystalpanel) 제조 공업 및 태양 전지판 제조 공업 분야가 필요로 하는 성능인, 0.5 Pa 까지 안정된 배기 성능을 유지하는 진공 펌프로서 관련 산업에서 안정된 품질의 제품과 향상된 생산능력을 가질 수 있게 된다.
분자류 영역에서 배기 속도를 향상시킴으로서 공정 시간을 단축할 수 있게 되며 단축된 시간만큼의 생산성 향상은 고부가가치 산업인 반도체 및 디스플레이 시장에서는 천문학적인 경제효과를 가져올 것이다. 그리고, 반도체 디바이스(Semiconductor device) 제조 공업, 액정 패널(Liquid crystal panel) 제조 공업 및 태양 전지판 제조시 공정상 부득이하게 생성되는 공정 Gas를 배기 시 Gas에 의해 대량으로 발생하는 반응 생성물을 밀어내는 효과를 가짐으로 제조사에서 매년 부득이하게 발생되는 Overhaul 비용 중(국내 총 1000억 추산-금감원 자료<공시자료>) 1/5, 즉 200억 가량을 절약할 수 있게 된다. 또 이상 압축을 억제하여 소비 전력을 절감하여 Running Cost를 절감할 수 있다.
현재, 국내 드라이 펌프 시장 규모는 3,500억/년<반도체 장비회사 금감원 공시자료 참조>정도로서 그 중 3000억 정도를 차지하고 있는 외산 수입 Pump 시장의 30%를 잠식했을 때 경제적 효과는 약900억 정도의 수입대체 효과가 발생된다고 할 수 있다.
? 사회적 성과(일자리 창출 등) : 신정부에서도 중요하게 부각하고 있는 환경문제에 있어 대량의 씰-희석가스(10~15 ℓ/min)가 필요하지 않게 됨으로, Xe(크세논), Kr(크립톤), CxFy(불소계열) 가스의 회수를 할 수 있어 환경문제에 있어 자유로워질 수 있다.
개발 참여기업인 (주)코디박의 사업계획에 의하면, 양산화를 위해 2011년 20명, 2012년 40명 등 2015년까지 총200명 이상을 충원 계획중에 있다.
4. 기술개발결과 활용계획
현재 반도체 및 디스플레이, 태양전지 제조공정 전반에 걸쳐 배기시스템 대체용으로 즉시 대체가 가능하며, 향후 차세대 공정 Line에 있어 소규모 고수익 Line에 있어 표준을 제공할 수 있을 것이다.
우리나라와 치열한 경쟁을 하고 있는 대만의 경우 국토 면적의 열악함으로 인해 우리나라와 같은 대규모 FAB이 들어설 공간이 부족하다. 현실적인 문제로 인해 국내에서는 보기 힘든 아파트형태의 FAB이 들어 서고 있는 실정에서 전체적 프로세스 면적을 획기적으로 절감 할 수 있는 본 기술개발은 또 다른 대안으로 활용될 수 있을 것이다.
- 제품 양산화 시스템을 구축하여 2012년부터 본격적 시판
- 대만, 중국, 일본, 스위스, 인도 등 당사의 해외 대리점을 통한 신규시장 개척

목차 Contents

• 사업비사용실적보고서...1
• Ⅰ. 총괄현황...1
• Ⅱ. 과제개발비 세부집행내역...1
• 개발결과의견서...6
• 첨부자료...7
• 최종보고요약서[초록]...8
• 목 차...10
• 제 1 장 서 론...11
• 제 1 절 개발대상기술(제품)의 중요성(필요성)...11
• 제 2 절 국내.외 관련 기술의 현황...12
• 1. 국내 현황...12
• 가. 해당 산업관련 기술 인프라 조성현황 및 수준...12
• 나. 관련 산업체의 사업추진에 대한 수요수준...12
• 다. Dry Pump...12
• 라. 반도체, 평판 Display 및 Solar Cell 제조공정에서 사용되는 Dry Vacuum Pump의 문제점...12
• 2. 국외 현황...13
• 가. 선진국 및 개발도상국 현황 및 동향...13
• 나. 주요 해당분야 경쟁국가의 현황 및 동향...13
• 제 2 장 과제 개발 내용 및 결과...14
• 제 1 절 기술 개발 목표...14
• 제 2 절 세부 개발내용...14
• 1. 1차년도 개발내용...14
• 2. 2차년도 개발내용...24
• 제 3 장 사업 성과...28
• 제 1 절 기술적 성과...28
• 제 2 절 경제적 성과...28
• 제 3 절 기타 성과...28
• 제 4 장 결 론...29
• 제 1 절 연구개발 결과...29
• 제 2 절 향후 추진 계획...31
• [부 록]...35