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NTIS 바로가기주관연구기관 | 경북대학교 KyungPook National University |
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연구책임자 | 이종현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-06 |
과제시작연도 | 2009 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 한국산학연협회 Korea Association of University, Research Institute and Industry |
등록번호 | TRKO201100012402 |
과제고유번호 | 1425057857 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
가. 폐 실리콘 웨이퍼의 micro blaster 표면 가공을 통한 Recycling 기술 개발
나. 망을 이용하여 균질한 식각 면을 가지는 플라즈마 건식식각 기술 및 장비 개발
다. 재생웨이퍼에 플라즈마 건식식각 기술을 이용하여 태양전지 표면 texturing 기술 개발
2. 개발내용 및 결과
가. 폐 실리콘 웨이퍼의 micro blaster 표면 가공을 통한 Recycling 기술 개발
1) 식각시 사용되는 파우더 종류 및 사이즈에 따른 식각 특성 및 표면 분석
2) 표면 구성
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