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NTIS 바로가기주관연구기관 | 금오공과대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 김기만 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2008-06 |
과제시작연도 | 2007 |
주관부처 | 중소기업청 |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201100013045 |
과제고유번호 | 1425046276 |
사업명 | 산학연 공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
◇ 스태핑 모터를 이용한 밸로즈 펌프 개발과 유체 공급 시 유량을 확인 할 수 있는 유량센서가 부착된 일체형의 펌프를 개발.
◇ 특히 시스템을 구성하는 부품의 불량 및 Error로 발생되어지는 웨이퍼 불량을 막기 위한 안전시스템을 구성하여 사무실에서 모니터링이 가능하며, Error발생 시 펌프의 작동을 제어하여 약품 손실 및 웨이퍼 불량을 방지할 수 있는 안전장치 기능이 부착된 펌프시스템을 개발.
▶ 현제 상용화 되고 있는 제어 펌프 시스템 : Open Loop 제어 (유량 및 Error 검출 불가)<
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