초록 ▼

1. 최종목표
반도체 및 LCD ETCH공정 후 배출되는 미반응 가스인 육불화황($SF_{6}$ gas)를 저온에서 화학반응을 이용하여 유해한 2차 부생성물 발생이 없이 99% 효율 이상으로 처리할 수 있는 고정제를 개발.
- $SF_{6}$처리 온도 : 400~600 도 (99% 이상 분해 시)
- $SF_{6}$ 분해 효율 : 99% 효율 이상
- $SF_{6}$ 처리 시 총유량 : 0.1~1 slpm (Lab scale)

1. 최종목표
반도체 및 LCD ETCH공정 후 배출되는 미반응 가스인 육불화황($SF_{6}$ gas)를 저온에서 화학반응을 이용하여 유해한 2차 부생성물 발생이 없이 99% 효율 이상으로 처리할 수 있는 고정제를 개발.
- $SF_{6}$처리 온도 : 400~600 도 (99% 이상 분해 시)
- $SF_{6}$ 분해 효율 : 99% 효율 이상
- $SF_{6}$ 처리 시 총유량 : 0.1~1 slpm (Lab scale)
2. 개발내용 및 결과
o 반도체 미반응 $SF_{6}$ 가스 제거를 위한 저온화학고정제의 소형장치 개발
o 반도체 미반응 가스 제거를 위한 화학고정제 개발
- 알카리토금속/알카리금속/철화합물을 이용
o $SF_{6}$ 가스의 제거를 위한 공정 조건 확립 및 장치의 최적화
-저온에서의 분해처리
-장비의 소형화
-화학고정제의 사용주기의 최적화
o 특허출원
- 불소화합물 가스의 저온 흡착처리제, 그를 이용한 불소화합물 가스처리방법 및 불소화합물 가스 처리장치
3. 사업성과
o 기술적 성과
저온 화학고정제를 이용한 $SF_{6}$가스 처리기술 개발은 600℃이하의 저온에서 99%이상의 가스처리효율, 2차생성물 억제, 유지비용 절감, 에너지 저감 등을 극대화 할 수 있고, 또한 가장 안정한 $SF_{6}$ 가스 이외에 모든 종류의 PFCs 가스를 처리할 수 있는, 지구온난화 문제를 해결하는 가장 현실적이고 친환경적 방식인 장치로서 일본에만 보유한 세계적인 기술을 국내 최초로 개발하는 기술적 성과를 이루었다.
o 경제적 성과
저온 화학반응 고정기술을 이용하여 기존 장비의 저효율성 해결과, 2차생성물 억제, 유지비용 절감, 에너지 저감 등을 극대화한 장치로서의 기존 장치의 대체효과와 용수와 원부재료비, 인건비 및 utility의 측면에서 타 기술에 비해 30%이상의 절약효과, 화학고정제의 사용 후 폐기물 발생 제로와 재활용 가능성에 대한 경제적 효과 증대를 기대할 수 있다.
o 활용성과 등
화학반응고정제 도입에 의한 에너지 효율의 현저한 증가로 장비 운용, 유지비용에 있어 가장 경쟁력이 있는 장치로의 개발이 예상되며 처리 용량은 장비가격 및 설치를 위한 시설비용에 많은 초기투자가 필요한 열소각 방식에 비해 저가이므로 해외시장 수출까지 기대할 수 있을 것으로 판단된다.
4. 향후추진계획
업그레이드 신규 연계과제(산학연 부설연구소 설치 사업)에 의한 상용화 진행과 반도체공정에서 배기되는 가스의 전처리용 미반응 가스 및 VOC를 포함한 여러 종류의 배기가스들에 대해서도 일괄 분해처리 할 수 있는 화학반응 고정제 또는 흡착제 및 배기가스처리 시스템 기술개발을 추진한다.

목차 Contents

• 사업비사용실적보고서 ... 1
• Ⅰ. 조성 금액 ... 1
• Ⅱ. 과제개발비 집행내역 ... 1
• 개발결과의견서 ... 4
• 최종보고요약서 (초록) ... 5
• 목 차 ... 7
• 제 1 장 서론 ... 8
• 제 1 절 개발대상기술(또는 제품)의 중요성(필요성) ... 8
• 제 2 절 국내외 관련기술의 현황(시장규모 포함) ... 10
• 제 3 절 기술개발 시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 14
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법 ... 16
• 제 1 절 기술개발 목표 및 세부내용(계획) ... 16
• 제 2 절 세부개발내용 및 방법(실적) ... 21
• 제 3 절 실험데이타, 도면, 인증서 등 ... 46
• 제 3 장 사업성과 ... 51
• 제 1 절 기술성과 ... 51
• 제 2 절 경제적 성과 ... 51
• 제 3 절 기타성과 ... 52
• 제 4 장 결론 ... 53
• 제 1 절 계획대비 실적 및 성과 ... 53
• 제 2 절 향후개선 사항 ... 54
• 제 3 절 적용분야 및 기대 효과 ... 58