초록 ▼

1. 최종목표
= 터치패널에 적용 가능한 고품위 ITO PET film 제조 위한 ITO 증착 공정 및 양산적용 기술 개발
- 투과율 90% 이상, Sheet resistance : 470 ±30 Ω/?
- ITO PET film의 전, 후처리 공정 개발(저항 및 투과율 변화 10%이하)
- ITO PET film 제작에 최적화된 cathode 설계 및 개발
2. 개발내용 및 결과
= PET film 상에 In-line DC magnetron sputtering 에 의한 터치패널용 ITO 저항막 형성

1. 최종목표
= 터치패널에 적용 가능한 고품위 ITO PET film 제조 위한 ITO 증착 공정 및 양산적용 기술 개발
- 투과율 90% 이상, Sheet resistance : 470 ±30 Ω/?
- ITO PET film의 전, 후처리 공정 개발(저항 및 투과율 변화 10%이하)
- ITO PET film 제작에 최적화된 cathode 설계 및 개발
2. 개발내용 및 결과
= PET film 상에 In-line DC magnetron sputtering 에 의한 터치패널용 ITO 저항막 형성기술 개발 및 박막특성평가
- O2 gas 유량이 증가함에 따라 박막 증착율의 감소, 투과율 증가
- Power가 증가함에 따라 박막 증착율 증가, 면저항 감소, 투과율 감소
- Pressure가 증가함에 따라 박막 증착율 감소, 면저항 감소
- Temperature가 증가함에 따라 박막 증착율 감소, 투과율 상승
= 최적화된 sputtering 조건을 이용하여 370×470 mm2 크기의 저항막 방식 터치패널용 ITO/PET 필름 제작
- ITO 저항막 형성을 위한 In-line DC magnetron sputtering 공정조건 :
* Power : 1.5 kW(DC)
* O2 / (Ar + O2) 비율 : 3%
* Work Pressure : 6 mTorr
* Jig Moving speed : 120 cm / min (40Hz)
* Work temperature : R.T
* Base vacuum : 1×10-6 torr
- ITO 저항막 특성 :
= 개발된 ITO/PET 필름을 이용한 3.5인치 view area를 갖는 4선 저항막 방식 터치패널 제작 및 동작특성 분석
- 터치패널 제작 과정
1) 상판 PET film DC magnetron sputtering
2) 하판 glass DC magnetron sputtering
3) 하판 glass laser patterning
4) 상판 PET film electro paste printing
5) 하판 glass electro 및 dot paste printing
6) 하판 FPC 부착 및 상/하판 접착
- 터치패널의 동작 특성 분석
1) 터치패널 전압의 선형성 테스트
2) 프로그램을 이용한 터치패널 동작 테스트
3. 사업성과
○ 기술적 성과
- 저항막 방식 터치패널용 ITO/PET 필름의 실용화를 위한 제조공정기술을 확보함.
- 370×470mm2 기판크기의 인-라인(In-line) 스퍼터링 공정기술 적용, 터치패널용 필름의 ITO/PET 양산화를 위한 기술 확보함.
- 제작된 ITO/PET 필름에 자체 개발한 터치패널 제조기술을 적용, 특성 평가를 수행함으로써 양산화에 필수적인 Field Test 시스템을 확보함.
○ 경제적 성과
- 터치패널용 ITO film의 경우, 제조 기술력이 일본에 뒤떨어져 고급용 시장인 휴대폰용 터치패널 시장에 접근하지 못하고 있는 상황이지만 본 과제의 성공으로 선택적 투명 저항막 코팅 기술 개발을 통한 터치패널 제조공정의 차별화를 실현, 기술 우위의 시장 경쟁력 확보 가능화.
- 제작된 ITP/PET 필름의 내구성, 안정성, 내환경성과 저가격화로 수입 대체 및 선진업체와의 경쟁에서 상대적 우위 확보 가능함.
○ 사회적 성과(일자리 창출 등)
* 참여연구원 산학교육프로그램
- 실무교육을 통한 산업현장에 맞는 우수한 인재 양성 및 기업연구원의 재교육을 통한 고급인력 양성
* 교내 디스플레이 연계전공학과 교육프로그램
- 디스플레이 연계전공학과 학부생을 대상으로 하는 터치패널 제조 기술의 실험 실습을 통한 우수한 인재 양성 및 고급 인력 확보
4. 기술개발결과 활용계획
- 본 개발결과를 통해 참여업체에 터치패널용 ITO/PET 필름 양산화에 필요한 관련기술들을 제공함.
- 향후 터치패널용 ITO/PET 부품제조업체 및 장비 업체의 산학협력을 확대함으로써, 현재 수입에 의존하고 있는 저항막 방식 터치패널의 핵심 부품인 ITO PET film의 국산화 실현.
- 궁극적으로 국내 터치패널 제조업체의 가격 경쟁력을 확보하고 시장 점유율을 상승시키는 데 이바지함.

목차 Contents

• 최종보고서...1
• □ 과제별 연구개발 내역 (간접비 제외)...2
• □ 간접비 집행내역...2
• 사업비사용실적보고서...3
• Ⅰ. 일반현황...3
• Ⅱ. 사업비 집행실적...4
• 최종보고요약서(초록)...10
• 개발결과의견서...14
• 표지...15
• 목차...16
• 제 1 장 서론...17
• 제 1 절 터치 패널 기술 개발의 개요...17
• 1-1. 개발대상기술(또는 제품)의 개요...17
• 제 2 절 터치 패널 기술 개발 목표...21
• 2-1. 개발목표...21
• 2-2. 개발내용 및 범위...21
• 제 3 절 기술 동향...24
• 3-1. 기술(또는 제품)개발의 필요성 및 중요성...24
• 3-2. 국내.외 관련 기술의 현황...25
• 3-3. 국내.외 시장규모...26
• 제 2 장 과제개발 내용 및 방법...29
• 제 1 절 DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 PET film상의 ITO 박막 최적화 공정...29
• 제 2 절 개발된 ITO/PET 필름을 이용하여 3.5인치 view area를 갖는 4선 저항막 방식 터치패널 제작 및 동작특성 분석...47
• 1. ITO/PET 필름을 이용한 3.5인치 view area를 갖는 4선 저항막 방식 터치패널의 제작...47
• 2. O2 유량에 gas 따른 PET 상에 DC 마그네트론 스퍼터링된 ITO 박막 내구성 시험...53
• 3. DC 스퍼터링 된 PET film 상의 ITO 박막을 적용한 터치패널의 선형성 시험...55
• 제 3 절 Cathode 개발 및 양산 시스템 응용...63
• 제 3 장 사업성과...67
• 제 1 절 기술적 성과...67
• 제 2 절 경제적 성과...67
• 제 3 절 활용 방안...67
• 제 4 장 결론...68