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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하공업전문대학 산학협력단 |
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연구책임자 | 구자일 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100014923 |
과제고유번호 | 1425065325 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
클린 룸 환경의 생산 설비 내, 생산 공정 중 발생하는 미세입자, 온도, 습도 값을 측정하여 무선통신을 통해 전송하는 미세입자 계수기를 개발 한다. 계수기를 통해 수집된 정보들을 분석하여 다 채널의 미세입자 계수 값과 온?습도 값의 변화 원인을 파악하고 제거하여 생산성 향상에 기여 한다.
2. 개발내용 및 결과
2.1 미세입자 계수기의 세부 개발 내용은 아래와 같은 사양으로 제작되었다.
▶ 입자 최소 측정 사이즈 : 0.3um이상
▶ 최대 입자 측정수 : 400,000EA/ft3
▶ 입
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