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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한성대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 김상현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-06 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가관리원 (중기청) |
등록번호 | TRKO201100015556 |
과제고유번호 | 1425064884 |
사업명 | 산학연공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
평면(2D) 포토마스크 설계 프로그램에 MEMS device의 3D 형상설계에 필요한 정보와 MEMS device 공정조건에 대한 정보를 입력하는 기능 및 자동 공정해석 기능을 가진 simulator를 자동으로 연계하여 별도의 3D 설계 및 해석프로그램을 거치지 않고 평면(2D) 포토마스크 설계단계에서 3D 형상 확인 및 MEMS 공정과정에서 발생하는 이종물질(layer) 증착에 따른 열변형을 예측 가능하게 하는 platform 개발
2. 개발내용 및 결과
V 포토마스크 data 기반 자동 3D geo
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