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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전자빔기술센터(주) |
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연구책임자 | 김호섭 |
참여연구자 | 박성순 , 김병진 , 김규수 , 박경완 , 황남우 , 류현기 , 박준섭 , 안종혁 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-12 |
과제시작연도 | 2004 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201200001226 |
과제고유번호 | 1410045241 |
사업명 | 국제공동기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 전자칼럼.디플렉터.전자렌즈.전자빔 보정. |
1. 최종목표
본 과제는 기존의 전자 칼럼에서 사용되는 전기장 디플렉터가 갖는 수차를 줄이기 위하여 자기장을 이용하며 전자빔을 스캔 또는 수차 보정(stimgator) 역할을 할 수 있는 자기장 디플렉터의 개발을 목표로 함.
2. 개발내용 및 결과
본 과제는 초소형 자기장 디플렉터의 개발을 위하여 초소형 구조의 디플렉터에 대한 분석 및 구조 설계, 그러고 공정 등의 개발하여 전자칼럼을 완성함.
전자칼럼의 전체 크기는 MEMS 공정으로 제작된 디플렉터가 결합되기 위하여 구동부의 높이를 20 mm, 그리고 상단부의
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