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NTIS 바로가기주관연구기관 | 조선대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 박진성 |
참여연구자 | 노효섭 , 이운영 , 김광호 , 나동명 , 시홍석 , 한상훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-08 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 환경부 |
사업 관리 기관 | 한국환경산업기술원 |
등록번호 | TRKO201200001832 |
과제고유번호 | 1485008393 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
◎ 학문적 기대효과
- 각종 산화물의 박막 증착공정 기술 확보
- 각 산화물에 따른 최적의 절연막 형성 기술
- 박막 물성 평가 및 계측 기술 확보
- 지능형 박막 센서 및 복합 집적화 센서 제조기술
- 이를 바탕으로 차세대 MEMs 기술 및 나노반도체 기술 확립
◎ 사회적 기대효과
- 대기환경 규제로 환경 유해가스 제어로 쾌적한 실내외 환경 구축
- 환경 친화형 자동차 및 디지털 가전 부품 개발로 국제 무역 규범을 피하며 경쟁력을 확보할 수 있음.
- 한국은 반도체 공정기술 분야의
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