초록 ▼

- 2차원 렌즈스캐닝 광주사용 MEMS 기술개발: 렌즈스캐닝시 광수차분석을 통한 렌즈 스케닝방식의 광학설계최적화구현, 내시경용 저전력(~0V) 저전압(DC 3V, AC 6V이내) 구동가능한 정전기력기반 수평(50μm) 및 수직(50μm) MEMS 구동기의 설계, 제작, 측정완료. MEMS 구동기.
-2D 렌즈스캐너기반 2차원 전면부 광주사용 내시경 카테터 개발: 두 개의 직경 1mm 상용 BK계열 비구면 렌즈를 이용한 2차원 광주사능 평가(광주사각:±5°), 내시경카테터용 광섬유 및 광주사용 렌즈집적을 시킨 MEMS 미세광학벤

- 2차원 렌즈스캐닝 광주사용 MEMS 기술개발: 렌즈스캐닝시 광수차분석을 통한 렌즈 스케닝방식의 광학설계최적화구현, 내시경용 저전력(~0V) 저전압(DC 3V, AC 6V이내) 구동가능한 정전기력기반 수평(50μm) 및 수직(50μm) MEMS 구동기의 설계, 제작, 측정완료. MEMS 구동기.
-2D 렌즈스캐너기반 2차원 전면부 광주사용 내시경 카테터 개발: 두 개의 직경 1mm 상용 BK계열 비구면 렌즈를 이용한 2차원 광주사능 평가(광주사각:±5°), 내시경카테터용 광섬유 및 광주사용 렌즈집적을 시킨 MEMS 미세광학벤치 통한 내시경 카테터의 핵심모듈을 폭 2.5mm 이내 집적완료. MEMS 미세광학벤치의 공정수율을 4인치웨이퍼내 90%수율확보를 위한 공정최적화. 알루미늄하우징을 통한 내시경카테터의 패키징 완료.
-초고속 SD-OCT 시스템구축을 통해 2차원 렌즈스캐닝기반 전면부 OCT 내시경 이미징확보: 근적외선 광대역광원(SLD, 중심파장: 830nm, Δλ=±50nm)와 CCD 카메라를 이용한 초고속 SD-OCT시스템의 구축(이미징속도 >100fps, 수직분해능<10μm, 이미징 영역 2.4mmx2.4mm) SD-OCT와 렌즈스케닝기반 내시경카테터를 통한 OCT 이미징 확보.

Abstract ▼

-The project objective is to develop the miniaturized optical scanning modules for endoscopic optical coherence tomography(OCT) using optical MEMS technology. The main idea is to use two scanning commerticial lenses actuated by MEMS actuators for two dimensional scanning of laser beam delivered by a

-The project objective is to develop the miniaturized optical scanning modules for endoscopic optical coherence tomography(OCT) using optical MEMS technology. The main idea is to use two scanning commerticial lenses actuated by MEMS actuators for two dimensional scanning of laser beam delivered by an optical fiber. This method significantly contributes to minimize the physical diameter of endoscopic catheter, unlike conventional methods such as MEMS mirror or fiber scanning methods.
-The main contents of the research includes the development of low power and volatage operated MEMS actuators for two dimensional lens scanning, microoptical bench, fully packaged endoscopic catheter, and finally the aquisition of optical coherence based endoscopic imaging.

목차 Contents

• 중견연구자지원사업(핵심연구) 최종보고서 ... 1
• 목 차 ... 3
• 연구계획 요약문 ... 4
• 연구결과 요약문 ... 5
• SUMMARY ... 6
• 연구내용 및 결과 ... 7
• 1. 연구개발과제의개요 ... 7
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 10
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 14
• 1. 미세렌즈 스캐닝 기반 2차원 광 주사모듈의 설계 ... 14
• 1.1 광 주사 레이아웃 및 광학수치해석 ... 14
• 2. 미세렌즈 스캐닝 기반 2차원 광 주사모듈 제작 ... 17
• 2.1 미세광학벤치 제작 공정 ... 17
• 2.2 실리콘 테터 분리 기술 확보 ... 19
• 2.3 미세렌즈 집적 및 2차원 광주사 모듈 패키징 ... 20
• 2.4 MEMS스캐너 구동 특성 평가 ... 22
• 2.5 MEMS스캐너를 통한 2차원 광 주사 구현 및 광학특성 측정 ... 25
• 3. 미세렌즈 스캐닝 기반 MEMS 내시경 카테터 개발 ... 26
• 3.1 내시경 카테터 하우징 설계 ... 26
• 3.2 내시경 카테터 어셈블리 및 패키징 ... 26
• 4. 광결맞음 단층 촬영장치 개발 및 내시경 카테터 이미지 획득 ... 29
• 4.1 광결맞음 단층 촬영장치 개발 ... 29
• 4.2 내시경 카테터의 특성 측정 및 광결맞음 단층 촬영 이미지 획득 ... 32
• 4. 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 35
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 37
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 38
• 7. 주관연구책임자 대표적 연구실적 ... 40
• 8. 참고문헌 ... 41
• 9. 연구성과 ... 42
• 10. 기타성과 ... 46
• 별첨1. 대표연구성과 ... 47
• 자체평가의견서 ... 48
• Ⅰ. 연구개발실적 ... 49
• Ⅱ. 연구목표 달성도 ... 50
• Ⅲ. 종합의견 ... 51
• Ⅳ. 보안성 검토 ... 52