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MEMS와 FRAM 소자 응용을 위한 무연계 강유전체(Na,K)NbO3 박막의 제조와 전기적 특성 연구
Fabrication and Electrical Properties of Lead-free (Na,K)NbO3 Ferroelectric Thin Films for MEMS and FRAM Devices 원문보기

보고서 정보
연구책임자 김일원
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-05
과제시작연도 2010
주관부처 교육과학기술부
등록번호 TRKO201200002189
과제고유번호 1345121588
사업명 중견연구자지원
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 무연 소재.(Na.K)NbO3 박막.Sol-gel.강유전성.전도구조.RF sputtering.안정성.FRAM.MEMS.Lead-free material.(Na.K)NbO3 Film.Sol-gel.Ferroelectricity.Conduction mechanism.RF sputtering.Stability.FRAM.MEMS.

초록 ▼

본 연구의 최종 목표는 강유전성이 우수한 환경 친화적인 (K,Na)NbO3 계 강유전체 박막을 제작하여 강유전 및 압전 특성을 규명하고 중금속인 납을 포함하고 있는 PZT계 박막을 대체할 FRAM 및 MEMS용 소재를 찾는 것이다. 연구자는 KNN계 박막의 강유전 및 압전 특성을 안정적으로 개선시키고 생산성을 향상시킬 수 있도록 sol-gel 방법을 이용하여 다양한 조성의 KNN계 박막을 제작하여 강유전, 압전, 전도및 열화 특성을 조사하여 강유전체 메모리소자, 압전 소자 등과 같은 무연계 전자소재로서의 응용성을 확보하기 위한 연구

Abstract ▼

The main goal of this study is to search a new eco-friendly lead-free (Na,K)NbO3-based ferroelectric thin films and investigate their ferroelectric, piezoelectric properties, conduction behavior and degradation mechanism in order to replace the PZT-based ferroelectric thin films for next generation

목차 Contents

  • 중견연구자지원사업(핵심연구) 최종보고서 ... 1
  • 목차 ... 3
  • Ⅰ. 연구 계획 요약문 ... 4
  • 1. 국문 요약문 ... 4
  • Ⅱ. 연구 결과 요약문 ... 5
  • 1. 국문 요약문 ... 5
  • 2. 영문 요약문 ... 6
  • Ⅲ. 연구 내용 및 결과 ... 7
  • 1. 연구 개발 과제의 개요 ... 7
  • 2. 국내·외 기술 개발 현황 ... 8
  • 3. 연구 수행 내용 및 결과 ... 13
  • 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 46
  • 5. 연구 결과의 활용 계획 ... 46
  • 6. 연구 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ... 47
  • 7. 주관연구책임자 대표적 연구 실적 ... 49
  • 8. 참고 문헌 ... 50
  • 9. 연구 성과 ... 52

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