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NTIS 바로가기연구책임자 | 김일원 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
등록번호 | TRKO201200002189 |
과제고유번호 | 1345121588 |
사업명 | 중견연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 무연 소재.(Na.K)NbO3 박막.Sol-gel.강유전성.전도구조.RF sputtering.안정성.FRAM.MEMS.Lead-free material.(Na.K)NbO3 Film.Sol-gel.Ferroelectricity.Conduction mechanism.RF sputtering.Stability.FRAM.MEMS. |
본 연구의 최종 목표는 강유전성이 우수한 환경 친화적인 (K,Na)NbO3 계 강유전체 박막을 제작하여 강유전 및 압전 특성을 규명하고 중금속인 납을 포함하고 있는 PZT계 박막을 대체할 FRAM 및 MEMS용 소재를 찾는 것이다. 연구자는 KNN계 박막의 강유전 및 압전 특성을 안정적으로 개선시키고 생산성을 향상시킬 수 있도록 sol-gel 방법을 이용하여 다양한 조성의 KNN계 박막을 제작하여 강유전, 압전, 전도및 열화 특성을 조사하여 강유전체 메모리소자, 압전 소자 등과 같은 무연계 전자소재로서의 응용성을 확보하기 위한 연구
The main goal of this study is to search a new eco-friendly lead-free (Na,K)NbO3-based ferroelectric thin films and investigate their ferroelectric, piezoelectric properties, conduction behavior and degradation mechanism in order to replace the PZT-based ferroelectric thin films for next generation
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