초록 ▼

최근 나노급 이하의 공정기술의 진보와 고전압 시스템의 집적화로 기존 정전기 보호소자의 문제가 개선된 새로운 방식의 ESD 보호소자의 구현 기술이 요구되고 있음. 본 연구는 나노 공정에 기반한 반도체 집적회로와 고전압 공정에 기반한 집적회로를 위한 ESD 보호소자의 개발을 주요 목표로 하며 세부적으로 다음과 같은 특성을 갖는 소자 구현 기술개발을 목적으로 함.
▸ 나노 공정 기반 저전압 집적회로용 ESD 보호소자 개발
· CDM에 적합한 빠른 턴온 속도와 낮은 트리거 전압을 갖는 ESD 보호소자 구현 기술
· 낮은 누

최근 나노급 이하의 공정기술의 진보와 고전압 시스템의 집적화로 기존 정전기 보호소자의 문제가 개선된 새로운 방식의 ESD 보호소자의 구현 기술이 요구되고 있음. 본 연구는 나노 공정에 기반한 반도체 집적회로와 고전압 공정에 기반한 집적회로를 위한 ESD 보호소자의 개발을 주요 목표로 하며 세부적으로 다음과 같은 특성을 갖는 소자 구현 기술개발을 목적으로 함.
▸ 나노 공정 기반 저전압 집적회로용 ESD 보호소자 개발
· CDM에 적합한 빠른 턴온 속도와 낮은 트리거 전압을 갖는 ESD 보호소자 구현 기술
· 낮은 누설 전류 및 기생 정전용량을 갖는 ESD 보호소자 구현 기술
▸ 고전압 공정 기반 집적회로용 ESD 보호소자 개발
· 사이리스터에 기반한 저면적 고 전류 구동 특성을 갖는 ESD 보호소자 구현 기술
· 높은 래치업 면역 특성을 갖는 ESD 보호소자 구현 기술

Abstract ▼

Recently, as devices are scaled down to nano-scale regime and high voltage systems are integrated to system-on chip(SoC), novel ESD portection devices are required. The main purpose of the research is to develop the novel ESD protection devices for nanoscale low voltage IC and high voltage IC. The s

Recently, as devices are scaled down to nano-scale regime and high voltage systems are integrated to system-on chip(SoC), novel ESD portection devices are required. The main purpose of the research is to develop the novel ESD protection devices for nanoscale low voltage IC and high voltage IC. The specific purpose of the research is summarized as below.
▶ Development of ESD protection devices for nano-scale low voltage integrated circuit
ㆍESD protection device with fast turn-on and low trigger voltage.
ㆍESD protection device with low leakage current and low parasitic capacitance
▶ Development of ESD protection devices for high voltage integrated circulit
ㆍThyristor based ESD protection device with high current driving capability
ㆍESD protection device with high latch-up immunity

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종보고서 ... 1
• 목차 ... 3
• I. 연구 계획 요약문 ... 4
• 1. 국문 요약문 ... 4
• II. 연구 결과 요약문 ... 5
• 1. 한글요약문 ... 5
• 2. SUMMARY ... 6
• III. 연구내용 및 결과 ... 7
• 1. 연구 개발 과제의 개요 ... 7
• 2. 국내외 기술 개발 현황 ... 10
• 3. 연구 수행 내용 및 결과 ... 11
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 22
• 5. 연구 결과의 활용 계획 ... 22
• 6. 연구 과정에서 수집한 해외 과학기술 정보 ... 23
• 7. 주관연구책임자(공동연구원) 대표적 연구 실적 ... 24
• 8. 참고 문헌 ... 24
• 9. 연구 성과 ... 24
• 10. 기타 성과 ... 25
• [별첨1] 대표연구성과 ... 26
• 자체평가 의견서 ... 28