초록

표면탄성파 (surface acoustic wave) 센서 기술과 고주파 신호처리 기술을 적용하여 기존 광학식 혹은 기계식 MEMS 자이로스코프 보다 성능이 월등하고, 고내충격, 고기동성의 특성을 갖는 표면탄성파 기반 무전원 자이로스코프 및 무선 측정시스템의 개발이다. 센서는 배터리 장착이 필요 없으며, 외부의 전자기파 (EM) 에너지에 의해 무선으로 구동된다. 본 시스템은 기존의 마이크로머시닝 자이로스코프의 동작원리와는 전혀 다른 새로운 메커니즘으로 기술개발 여하에 따라 많은 파급효과를 야기한다.

Abstract ▼

This research is to develop a SAW-based micro-gyroscope with high performance and high shock resistance, and wireless measurement system by accommodating SAW sensor technology and high frequency signal process. The sensor does not require any battery installation to operate and it is wirelessly acti

This research is to develop a SAW-based micro-gyroscope with high performance and high shock resistance, and wireless measurement system by accommodating SAW sensor technology and high frequency signal process. The sensor does not require any battery installation to operate and it is wirelessly activated by the electromagnetic energy from measurement system. This sensor has totally different operation principle compared with currently existing MEMS gyroscopes, and many practical applications will be created depending on successful research achievements.

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종보고서(최종본) ... 1
• 목차 ... 2
• I. 연구 계획 요약문 ... 3
• 1. 국문 요약문 ... 3
• II. 연구 결과 요약문 ... 4
• 1. 한글요약문 ... 4
• 2. SUMMARY ... 5
• III. 연구내용 및 결과 ... 6
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 6
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 9
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 11
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 27
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 29
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 31
• 7. 주관연구책임자(공동연구원) 대표적 연구 실적 ... 32
• 8. 참고 문헌 ... 32
• 9. 연구 성과 ... 33
• 10. 기타사항(중요 연구 변경사항 등) ... 33
• [별첨1] 대표연구성과 ... 34
• 자체평가 의견서 ... 35