초록

본 연구에서는 이동통신 분야 T/R 스위치 및 안테나 스위치 응용을 위한 다중 출력 SPMT 스위치를 개발한다. 이를 위해 RF 신호전송선과 압전형 구동기가 일체형으로 결합된 초소형, 저전압, 저손실, 고신뢰성의 장점을 갖는 새로운 구조의 RF MEMS 기술 기반 단일 스위칭 소자를 선행적으로 개발하며, 이를 확장하여 SPMT 스위칭 소자를 구현함으로써 실제 응용에 대한 가능성을 도출한다.

Abstract ▼

In this research, we develop wafer-level packaged RF MEMS single-pole multi-throw (SPMT) switches for T/R and antenna switch applications in mobile and wireless telecommunication systems. Firstly, we develop a new type of SPST MEMS switch having various advantages such as compact size, low voltage a

In this research, we develop wafer-level packaged RF MEMS single-pole multi-throw (SPMT) switches for T/R and antenna switch applications in mobile and wireless telecommunication systems. Firstly, we develop a new type of SPST MEMS switch having various advantages such as compact size, low voltage actuaton, low loss, high reliability through combining piezoelectric actuator and transmission line monolithically. Finally, we realize MEMS SPMT switches based on the developed SPST switches and provide a feasibility to be applied on the practical applications.

목차 Contents

• 일반연구자지원사업 최종보고서 ... 1
• 목차 ... 3
• I. 연구계획요약문 ... 4
• 1. 국문 요약문 ... 4
• II. 연구 결과 요약문 ... 5
• 1. 한글요약문 ... 5
• 2. SUMMARY ... 6
• III. 연구내용 및 결과 ... 7
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 7
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 10
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 14
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 32
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 35
• 6. 연구 과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 38
• 7. 주관연구책임자(공동연구원) 대표적 연구 실적 ... 38
• 8. 참고 문헌 ... 38
• 9. 연구 성과 ... 39
• 10. 기타사항 ... 40
• 별첨 1. 대표연구성과 ... 41
• 자체평가 의견서 ... 43