초록

੦ MEMS 기술을 적용한 고신뢰성 적외선 센서 모듈 평가기준 마련
੦ 8×8 어레이형 적외선 센서의 고 해상 화소 센서 개발 기술력 확보
੦ 시장진입을 위해 필요한 신뢰성평가 데이터 확보

목차 Contents

• 표 지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 중소기업신뢰성향상지원사업 보고서 초록 ... 3
• 목 차 ... 4
• 그림 목차 ... 7
• 표 목차 ... 9
• 제 1 장 서론 ... 10
• 제 1 절 사업의 목표 및 내용 ... 10
• 1. 사업의 목표 ... 10
• 2. 사업의 내용 ... 10
• 3. 최종 평가항목 및 기준 ... 11
• 제 2 절 적외선 센서의 구조와 기능 ... 12
• 1. 개요 ... 12
• 2. 적외선 센서의 구조 ... 13
• 제 2 장 적외선 센서의 구조 설계 ... 21
• 제 1 절 적외선 센서 구조 설계 ... 21
• 1. Cantilever 기초 설계 ... 21
• 2. 열시상수 기초 설계 ... 21
• 제 2 절 다구찌 실험계획 ... 22
• 1. 다구찌 실험계획 ... 22
• 2. 실험 결과분석 및 최적수준 결정 ... 22
• 3. Cantilever bending 구조 설계 ... 24
• 4. Stabilizer 구조 설계 ... 25
• 제 3 절 적외선 센서의 설계 ... 26
• 1. 16×16 센서 어레이 레이아웃 ... 26
• 2. 16×16 볼로미터 적외선 센서 어레이 제작 ... 28
• 3. 16×16 패키지 및 광학계 설계와 시제품 제작 ... 29
• 4. 16×16 외부 검출 회로 설계 ... 29
• 5. 16×16 센서 모듈 조립 ... 30
• 제 3 장 신뢰성 평가기준 설계 ... 31
• 제 1 절 성능평가를 위한 자료 수집 및 분석 ... 31
• 제 2 절 시험 관련 자료 수집 및 분석 ... 32
• 제 3 절 고장모드 및 메커니즘 분석 ... 34
• 제 4 장 신뢰성시험의 계획 및 실시 ... 38
• 제 1 절 신뢰성시험 계획 ... 38
• 1. 고장판정 기준과 기본성능시험 ... 38
• 2. 환경시험 ... 39
• 3. 고장률보증시험 ... 41
• 4. HALT ... 42
• 제 2 절 지그 제작 ... 43
• 제 3 절 신뢰성시험 실시 ... 44
• 1. 기본 기능·성능 시험 ... 44
• 2. 환경시험 ... 44
• 3. 고장률보증시험 ... 47
• 4. HALT ... 48
• 제 5 장 결론 ... 49
• 제 1 절 요약 ... 49
• 1. 사업의 목표 ... 49
• 2. 지원의 내용 ... 49
• 제 2 절 성과 및 기대 효과 ... 49
• 제 3 절 적용 분야 및 향후 전망 ... 50
• 1. 기술의 적용 분야 ... 50
• 2. 향후 전망 ... 50