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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항산업과학연구원 Research Institute of Industrial Science & Technology |
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연구책임자 | 정재인 |
참여연구자 | 박영희 , 전웅 , 이경황 , 정창영 , 권현철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-05 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
등록번호 | TRKO201200004104 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
키워드 | 다이아몬드상 카본.비평형 마그네트론 스퍼터링.아크 소스.미소경도.복합 디엘시.Diamond-like Carbon.Unbalanced Magnetron Sputtering.Arc Source.Micro Hardness.Hybrid DLC. |
가. UBM 스퍼터링 및 아크 소스 설계 및 제작 기술 지원
- UBM 스퍼터링 소스에 대한 시뮬레이션 및 3-D 모델링 설계와 제작 기술
- 일반 아크 및 여과 아크 설계 및 제작 기술
나. UBM 스퍼터링 소스를 이용한 Hydrogen-free DLC 코팅 공정 기술 지원
- UBM 스퍼터링 소스를 이용한 흑연 타겟의 증발 및 증착 공정 기술
- DLC 제조 공정 도출 및 최적화 기술
다. 이온빔 방식을 이용한 Hybrid DLC 코팅 공정 기술 지원
- Interlayer/DLC 코팅 공정
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