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연합인증

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UBM 및 Arc 소스를 이용한 DLC 코팅 기술 지원 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 포항산업과학연구원
Research Institute of Industrial Science & Technology
연구책임자 정재인
참여연구자 박영희 , 전웅 , 이경황 , 정창영 , 권현철
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2007-05
주관부처 산업자원부
사업 관리 기관 산업자원부
Korea Institute for Industrial Economics and Trade
등록번호 TRKO201200004104
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 다이아몬드상 카본.비평형 마그네트론 스퍼터링.아크 소스.미소경도.복합 디엘시.Diamond-like Carbon.Unbalanced Magnetron Sputtering.Arc Source.Micro Hardness.Hybrid DLC.

초록

가. UBM 스퍼터링 및 아크 소스 설계 및 제작 기술 지원
- UBM 스퍼터링 소스에 대한 시뮬레이션 및 3-D 모델링 설계와 제작 기술
- 일반 아크 및 여과 아크 설계 및 제작 기술
나. UBM 스퍼터링 소스를 이용한 Hydrogen-free DLC 코팅 공정 기술 지원
- UBM 스퍼터링 소스를 이용한 흑연 타겟의 증발 및 증착 공정 기술
- DLC 제조 공정 도출 및 최적화 기술
다. 이온빔 방식을 이용한 Hybrid DLC 코팅 공정 기술 지원
- Interlayer/DLC 코팅 공정

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 종합기술지원사업 기술지원성과보고서 ... 2
  • 제출문 ... 3
  • 기술지원성과 요약서 ... 4
  • 기술지원성과 요약문 ... 5
  • 목차 ... 13
  • 제 1 장 서론 ... 14
  • 제 1 절 기술지원 필요성 ... 14
  • 제 2 절 기술지원 목표 ... 16
  • 제 3 절 기술지원 내용 ... 17
  • 제 2 장 국내외 기술 현황 ... 18
  • 제 1 절 DLC 특성 및 코팅 기술 ... 18
  • 제 2 절 국내외 기술 현황 ... 22
  • 제 3 장 기술지원 수행 내용 및 결과 ... 23
  • 제 1 절 기술지원 수행 ... 23
  • 제 2 절 기술지원 성과 ... 65
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 67
  • 제 1 절 기술지원 목표 달성정도 ... 67
  • 제 2 절 관련 분야에의 기여도 ... 68
  • 제 5 장 기술지원 결과의 활용계획 ... 69
  • 제 6 장 참고문헌 ... 70

참고문헌 (25)

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