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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전자부품연구원 Korean Electronics Technology Institute |
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연구책임자 | 이경일 |
참여연구자 | 조진우 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-08 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201200004387 |
과제고유번호 | 1410052544 |
사업명 | 부품소재종합기술지원 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 엘씨디 패널.프로브 유닛.검사.슬릿.멤스.LCD panel.probe unit.test.slit.MEMS. |
* 정밀 슬릿 제조를 위한 마스크 레이아웃
로딩 불균일도에 의한 식각 편차를 최소화하기 위한 단위 셀 내/외 상의 패턴 레이아웃 지원 2회 및 레이아웃 방법 교육
* 고종횡비 슬릿 구조물 공정 최적화
수평방향 +/- 3um, 수직방향 10um 이내의 공정 균일도를 구현하기 위한 Bosch 프로세스(depostion - physical etching - chemical etching)의 최적화 및 scallop 조절
- 1, 2차 마스크별로 공정 진행
- 공정 파라미터 조정을 통한 식각 특성 기술 지원
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