초록 ▼

1. 제품 신뢰도 향상을 위한 이온빔 보조 증착 장비 최적화 지원
- 박막 설계 프로그램을 활용한 증착 시뮬레이션 지원
- 증착 두께 신뢰도 향상을 위한 두께 측정 장비 관리 기술 확보
- quartz crystal sensor 적정 사용주기 확보
- TiO2 초기 증발 물질의 pre-meiting 기술 확보
2. 생산성 향상을 위한 대용량 jig 제작 지원
- 대용량, 고효율 jig 설계 및 제작
- 1 회 공정으로 모든 제품의 생산 가능
- 생산성 50% 향상
3. In-line

1. 제품 신뢰도 향상을 위한 이온빔 보조 증착 장비 최적화 지원
- 박막 설계 프로그램을 활용한 증착 시뮬레이션 지원
- 증착 두께 신뢰도 향상을 위한 두께 측정 장비 관리 기술 확보
- quartz crystal sensor 적정 사용주기 확보
- TiO2 초기 증발 물질의 pre-meiting 기술 확보
2. 생산성 향상을 위한 대용량 jig 제작 지원
- 대용량, 고효율 jig 설계 및 제작
- 1 회 공정으로 모든 제품의 생산 가능
- 생산성 50% 향상
3. In-line sputter 공정 밀착력 향상 기술 지원
- 최적 플라즈마 처리 공정 기술 확보
- 개발 기술의 지원 기업의 플라즈마 처리 시스템에 적용 방법 확보
4. 작업 공정도 제작을 통한 생산 업무 전문성 향상
- 작업 공정도 제작을 통한 생산 업무 전문성 향상 지원
5. 분석 업무 지원
- 시판 제품 및 경쟁 업체 제품의 reverse-engineering을 위한 분석 기술 지원
6. 기술 지원 세미나
- 연구 개발을 수행할 전문 인력 및 연구개발 시스템을 갖추게 되어 향후 기술개발을 용이하게 실시할 수 있게 되었음.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 전문기업기술지원사업 기술지원성과보고서 ... 2
• 제출문 ... 3
• 기술지원성과 요약서 ... 4
• 기술지원성과 요약문 ... 5
• 목차 ... 13
• 제 1 장 사업의 개요 ... 14
• 제 1 절 기술지원 필요성 ... 14
• 제 2 절 기술지원 목표 ... 14
• 제 3 절 기술지원 내용 ... 15
• 제 2 장 국내외 기술현황 ... 16
• 제 1 절 세계적 수준 ... 16
• 제 2 절 국내 수준 ... 16
• 제 3 절 국내 업계 현황 ... 17
• 제 3 장 기술지원 수행 내용 및 결과 ... 18
• 제 1 절 기술지원 수행 ... 18
• 1. 계획된 기술지원의 달성 정도 ... 18
• 2. 수행한 기술지원 내용 ... 19
• 제 2 절 기술지원 성과 ... 69
• 1. 기술 지원 추진 일정 준수 여부 ... 69
• 2. 수행 주체별 담당내용 및 수행 실절 ... 70
• 3. 기술지원에 따른 수행 인력 및 연구 기자재의 활용 실적 ... 71
• 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 72
• 제 1 절 목표 달성도 ... 72
• 1. 정량적 목표 달성도 ... 72
• 2. 계획 목표 이외 추가 달성도 ... 72
• 제 2 절 관련 분야에 기여도 ... 74
• 제 5 장 기술지원결과의 활용계획 ... 75
• 제 1 절 추가 지원의 필요성 ... 75
• 제 2 절 지원 기술 결과의 활용 방안 ... 75
• 제 6 장 참고문헌 ... 76