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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 유영은 |
참여연구자 | 최두선 , 서영호 , 김태훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2006-09 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 산업자원부 Korea Institute for Industrial Economics and Trade |
등록번호 | TRKO201200005245 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 스핀코팅.스탬퍼.미세 패턴.도광판.에칭.spincoating.stamper.micro pattern.LGP.etching. |
LCD의 휘도 및 균일도 향상을 위한 미세 패턴 응용 도광판 성형용 스탬퍼 제작 공정에서 발생하는 패턴 오류 및 편차, 육안 식별이 가능한 정형 혹은 비정형의 흔적의 발생 원인 규명 및 이를 통한 스탬퍼 수율 개선과 도광판 개발 공정의 효율화를 목표로하여, 스탬퍼의 제작 공정 중 코팅 공정 및 에칭 관련 공정을 중심으로 불량 주요 원인 분석 및 공정 최적화, 주요 공정에 대한 자동화 시스템 구축을 수행하였으며 주요 수행 결과는 다음과 같다.
- 미세 입자에 의한 오염 방지를 위한 FFU(Fan Filter Unit)을 PR스핀
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