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세라믹 고정밀 가공기술 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국생산성본부
Korea Productivity Center
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2009-10
과제시작연도 2008
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200005551
과제고유번호 1425051444
사업명 생산환경혁신기술개발
DB 구축일자 2013-05-20
키워드 세라믹.알루미나.2축 로봇.미세 연마제.모스 경도.

초록 ▼

소형에서 중대형 LCD 흡착 반송용 Plate나 세라믹 ESC(Electrostatic Chuck)는 100㎛ 내외의 가공오차 범위에서 가공을 해야 하는데 이는 높은 경도와 강도를 가지고 있어 LCD 액상주입이나 통전 시 발생하는 압력에 파손과 휨이 발생하지 않고, 온도 편차를 최소화하여 제품의 불량률이 거의 없도록 제작해야 하기 때문임. 이러한 가공 공정은 반도체, LCD(Liquid Crystal Display) 생산 시 매우 중요한 핵심부품으로 현재까지는 경도가 가장 높은 다이아몬드공구를 이용하여 가공이 이루어져왔으나 알루미나

목차 Contents

  • 중소기업기술개발지원사업 최종보고서 ... 2
  • 표지 ... 3
  • 제출문 ... 4
  • 요약서(초록) ... 5
  • 목차 ... 7
  • 제 1 장 개발기술의 개요 ... 8
  • 제 1 절 개발대상기술의 필요성 ... 8
  • 제 2 절 국내외 관련기술의 현황 ... 12
  • 제 3 절 기술개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 12
  • 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 15
  • 제 1 절 기술개발 목표 ... 15
  • 제 2 절 세부계획 및 개발내용 ... 29
  • 제 3 절 실물사진, 실험데이타, 인증서 ... 50
  • 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 64
  • 제 1 절 계획대비 실적 및 성과 ... 64
  • 제 2 절 향후 개선 사항 ... 74
  • 제 3 절 적용분야 및 기대효과 ... 74
  • 부록 ... 76

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참고문헌 (25)

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