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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)테라세미콘 |
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연구책임자 | 이병일 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2009-08 |
과제시작연도 | 2008 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술평가원 |
등록번호 | TRKO201200006302 |
과제고유번호 | 1425050124 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-01-08 |
키워드 | 저온폴리실리콘결정화.판히터.고온 열처리.결정화.활성유기 발광다이오드. |
1. 기술개발목표
본 기술 개발 최종목표는 대면적 유리 기판을 열처리 할 수 있는 고온용 Heater를 개발하는 것이다.
- 5.5G급 대면적(1,300*1,500mm) 유리 기판 대응 Heater개발
- 최대공정온도>700℃ 적용
- 유리 기판 및 Heater 모재 변형 방지
- 유리기판내 온도 균일도 <±3℃@650℃
2. 기술개발의 목적 및 중요성
- 현재 선행그룹은 4G(730*920)로 양산하고 있지만, TV 시장 진입을 위한 본격적인 양산은 5.5G(1300*1500)로써 양산에 대응
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