초록 ▼

이동 통신 기술은 전파를 매체로 하여 공간 제약의 극복, 설비의 경제성 및 이용 가능성의 증대 등으로 현대 산업에 있어서 필요 불가결한 기술로 자리 잡은 지 오래이다. 이동통신 기술은 최초 아날로그 방식인 1세대에서 2세대, 현재 각광을 받고 있는 3세대 그리고 Multimedia가 융합되는 4세대로 급진전 발전하고 있다. 이러한 이동 통신 기술은 경제, 산업적 잠재력이 많이 남아 있으며, 미래를 이끌어갈 미래 산업이라 할 수 있다. 현재 세계의 이동 통신 서비스는 여러 가지 액세스 기술 방식이 있으며, 또한 각 지역 및 나라에 따

이동 통신 기술은 전파를 매체로 하여 공간 제약의 극복, 설비의 경제성 및 이용 가능성의 증대 등으로 현대 산업에 있어서 필요 불가결한 기술로 자리 잡은 지 오래이다. 이동통신 기술은 최초 아날로그 방식인 1세대에서 2세대, 현재 각광을 받고 있는 3세대 그리고 Multimedia가 융합되는 4세대로 급진전 발전하고 있다. 이러한 이동 통신 기술은 경제, 산업적 잠재력이 많이 남아 있으며, 미래를 이끌어갈 미래 산업이라 할 수 있다. 현재 세계의 이동 통신 서비스는 여러 가지 액세스 기술 방식이 있으며, 또한 각 지역 및 나라에 따라서 복수의 액세스 방식이 혼재하고 있다. 유럽의 GSM(Global System for Mobile Communications)과 미국, 일본, 한국 등의 CDMA(Code Division Multiple Access) 기술이 2G 통신기술을 대표하고 있다. 이러한 액세스 방식은 음성 서비스만으로는 폭발적으로 증가하는 이용자와 이용자 편의로 제공되는 데이터 서비스를 만족 할 수 없기 때문에, 각각의 액세스 방식은 GSM에서 EGSM, DCS1800등의 2.5세대로 진화를 했으며, 요즘 각광을 받고 있는 3세대 액세스 방식인 WCDMA까지 진화를 해왔다. 반면 CDMA는 IS95C에서 2.5세대인 CDMA2000로 진화를 하였다. 이러한 진화된 액세스 방식은 음성 서비스와 향상된 데이터 서비스와 영상서비스를 제공하여 이용자의 욕구를 충족시켜 주고 있다. 또한, 요즘 대두되고 있는 Wibro(Mobile WiMax)의 경우 빠른 데이터 서비스만을 위한 액세스 방식으로 새롭게 개발되었으며, 현재는 음성 서비스까지 고려하여 4세대 규격으로도 논의 되고 있다.
현재의 이동 통신은 기술의 진화에 의한 서비스의 혼재 및 다양한 통신 서비스로 인해 다중 서비스에 대한 RF 기능이 요구되고 있으며, 또한 이용자의 욕구와 Contents의 발달로 다양한 통신 기술로 진화를 해가고 있다. 이동 통신 기술은 지역별, 서비스별로 다양한 규격 및 방식들이 있으며, 이러한 이동통신 기술에서 이동 통신 시스템은 서비스의 다양화나 이용자의 편의성을 고려하여, 복수의 서비스 방식에 의한 복수의 주파수대역(Multi-Band)에서도 사용이 가능하도록 하는 기능이 요구 되어지고 있다. 이들 다중 이동 통신 기술들은 다중 서비스가 가능한 RF 기술들이 요구 되어지고, 이러한 다중 서비스의 RF 기술들은 장비 크기 제약의 해소 및 사업자에게 투자 절감이라는 이익도 제공해 주고 있다. 특히 이동 통신 시스템의 안테나 하단의 Front Ended 부분에 사용되는 고주파 부품은 복수의 주파수에 다중 서비스를 지원할 수 있도록 하는 Multiplexing이 가능해야 하며, 안테나단과 전력 증폭기 사이에 위치하게 되어 높은 내전력성이 요구된다. 소형화, 집적화 추세에 따라 부품 상호간의 발열에 의한 대역간 주파수 선택도에 영향을 주게 되는 주파수 변화 등을 해결해야하는 문제점으로 부각되고 있다. 본 연구 과제는 높은 내전력성과 온도변화에 안정적인 RF SAW 필터의 개발를 다중 대역에서 동작 가능하도록 집적화한 전단형 RF 다중 필터를 개발함으로써 이동통신 시스템의 신뢰성 향상에 기여할 수 있으며, 소형화 되어가고 있는 이동 통신 시스템에서 다기능화를 추구할 수 있는 중요한 기술이라 할 수 있다.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 요약서(초록) ... 3
• 목차 ... 5
• 제 1 장 개발기술의 개요 ... 6
• 제 1 절 개발의 중요성 및 필요성 ... 6
• 제 2 절 국내·외 관련기술 현황 및 특허동향 ... 8
• 제 3 절 개발시 예상되는 파급효과 및 활용방안 ... 10
• 제 2 장 개발목표 및 개발내용 ... 11
• 제 1 절 기술개발의 최종목표 ... 11
• 1. 기술개발의 최종목표 ... 11
• 2. 기술개발의 평가방법 및 평가항목 ... 14
• 3. 기술개발의 추진일정 ... 19
• 제 2 절 세부 계획 및 개발내용 ... 20
• 1. 0.6um급 미세패턴 형성 및 Cu 박막의 리프트오프(Lift off) 공정개발 ... 20
• 2. Cu 박막을 이용한 SAW 공진기 및 대역통과 필터 개발 ... 26
• 3. High Attenuation Notch Filter 개발 ... 38
• 4. Al-Cu 합금 및 순수 Cu 박막을 적용한 필터의 내전력성 향상 ... 40
• 5. 전력 분산형 High Attenuation Bandpass Filter의 개발 ... 42
• 6. KrF Stepper를 이용한 비등방성 0.35um 전극 패턴 구현 및 Lift off 공정 개발 ... 46
• 7. 안정화된 SiO2층 증착 공정을 적용한 온도 안정성 SAW 필터 개발 ... 53
• 8. CDMA(2G), WCDMA(3G) 용 다중 대역 필터 개발 ... 67
• 제 3 장 성과요약 및 기대효과 ... 93
• 제 1 절 개발 성과 ... 93
• 제 2 절 적용 분야 ... 96
• 제 3 절 기대 효과 ... 97