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연합인증

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마이크로웨이브 에너지를 이용한 플라즈마 발생장치의 반응기 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 엠제이모델
M.J(엠제이모델)
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-12
과제시작연도 2010
주관부처 중소기업청
Small and Medium Business Administration
등록번호 TRKO201200006454
과제고유번호 1425063974
사업명 첨단연구장비활용사업
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 반응기.극초단파.전리기체.석영.발생기.applicator.microwave.Plasma.quartz.Generator.

초록

- 본 과제를 통해 아래 그림과 같이 개발 1차 년도에 2500W급의 해외 선두기업의 독점시장의 수입 제품과 같은 성능의 제품을 개발을 통해 동등한 기술력을 확보하고 제품 성능향상을 위한 아래의 필요 기술을 향상시켜 당 과제의 최종목표인 4000W급을 개발하여 사업화하고 관련 기술을 확보하는 것이 최종목표이며 당 과제를 수행 및 목표달성을 위해서는 공동연구기관과의 긴밀한 협조가 필요하다. 최종 제품의 성능평가 및 적용은 주관기관인 M.J의 평가 시스템과 산업체 직접 데모를 통해 수행이 가능하나 제품의 성능을 좌우할 수 있는 특수 실

목차 Contents

  • 첨단장비활용 기술개발사업 최종보고서 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 과제 요약서(초록) ... 3
  • 목차 ... 6
  • 1. 기술개발 진행일정 보고 ... 7
  • 2. 평가 항목별 기술개발 결과 ... 8
  • 2-1 Max 허용온도 평가 ... 8
  • 2-2 Max Power(w/hr)의 평가 및 평가 방법 ... 9
  • 2-3. 인장강도(stress), 연신율, 경도, 접착력 평가 ... 10
  • 2-4 제품 가공 및 평가 ... 11
  • 2-5 진공도 평가 ... 22
  • 2-6 절연율 평가 ... 22
  • 2-7 공동연구기관(아주대학교 공동기기 연구센터) 공동 개발 평가 ... 23
  • 2-8. 기술개발 평가 항목 중 목표 미달 내용 정리 ... 31
  • 3. 사업화 실적 및 추진계획 ... 34
  • 4. 개발 후 기대효과 ... 35

참고문헌 (25)

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