초록 ▼

◑ 기술개발의 목표 및 내용
(1차년도)
○ 1차년도 개발목표
: 에너지절약형 초음파장치의 기반기술개발
- 수치해석을 통한 초음파 전달체 형상설계기술
- FEM을 이용한 전달체 거동해석기술 개발
- 초음파 전달체와 압전소자간의 효율적인 tuning을 위한 설계용 tool 개발
- 1MHz에서 electric generator의 tuning 기술 개발
- Al 재질로 된 plate type의 실험용 모델 제작
- FPD 세정용 실험장치 설계
○ 기술개발의 내용 및 범위
• 수

◑ 기술개발의 목표 및 내용
(1차년도)
○ 1차년도 개발목표
: 에너지절약형 초음파장치의 기반기술개발
- 수치해석을 통한 초음파 전달체 형상설계기술
- FEM을 이용한 전달체 거동해석기술 개발
- 초음파 전달체와 압전소자간의 효율적인 tuning을 위한 설계용 tool 개발
- 1MHz에서 electric generator의 tuning 기술 개발
- Al 재질로 된 plate type의 실험용 모델 제작
- FPD 세정용 실험장치 설계
○ 기술개발의 내용 및 범위
• 수치해석을 통한 초음파 전달체 형상 설계기술 개발
- 전달체 하단에서 최대음압이 발생하도록 수치해석을 이용하여 최적의 치수를 구함.
• FEM을 이용한 초음파 전달체 거동해석기술 개발
- 초음파 전달체의 거동해석을 위해 상용 FEM 툴을 사용하여 해석을 수행.
• 초음파 전달체와 압전소자의 tuning 설계용 tool 개발
- 초음파 전달체 끝단에서 최대음압이 발생하여 효율적인 세정을 할 수 있도록, 상용소프트웨어를 사용한 tool을 프로그래밍 함.
• 1 MHz급 electric generator의 tuning기술 개발
- electric generator와 진동자간에 공진이 잘 일어나도록 tuning기술을 개발.
• 실험용 모델 (Al, plate type)제작, 초음파실험
- 초음파 실험을 위해 Al 재질의 plate type 초음파장치를 설계 및 제작
- 초음파 기초특성, 음압분포 등의 기초 성능실험 수행.
• FPD 세정용 실험장치 설계
- 평판디스플레이의 세정성능실험을 수행하기 위하여 세정실험장치를 설계함.

Abstract ▼

An energy saving megasonic system for flat panel display (FPD) cleaning that does not cause damage to the device was designed, manufactured and tested. The peak impedance curve value of the piezoelectric actuator alone was 1,005 kHz. The impedance of the quartz waveguide was simulated by using ANSYS

An energy saving megasonic system for flat panel display (FPD) cleaning that does not cause damage to the device was designed, manufactured and tested. The peak impedance curve value of the piezoelectric actuator alone was 1,005 kHz. The impedance of the quartz waveguide was simulated by using ANSYS finite element method (FEM) software. The maximum impedance value of the quartz waveguide with the actuator was 1,005 kHz, which agreed well with the measured value of 1,003 kHz.
The acoustic pressure of a conventional FPD cleaning megasonic system and the developed system was measured and compared. The results showed that the averaged value for the developed system was increased by 4 times compared to the conventional type.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 최종보고서 초록 ... 3
• 연구개발사업 주요 연구성과 ... 7
• 요약문 ... 11
• SUMMARY ... 20
• CONTENTS ... 21
• 목차 ... 22
• 제 1 장 서론 ... 24
• 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 25
• 1. 기술적측면 ... 25
• 2. 산업·경제적측면 ... 26
• 3. 정책적측면 ... 26
• 제 2 절 국내·외 관련 기술의 현황 ... 27
• 1. 국외기술현황 ... 27
• 2. 국내기술현황 ... 27
• 3. 특허현황 ... 28
• 4. 현 기술상태의 취약성 ... 29
• 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적·경제적 파급 효과 ... 30
• 1. 기술적측면 ... 30
• 2. 산업·경제적측면 ... 30
• 3. 정책적측면 ... 31
• 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 32
• 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 33
• 1. 최종목표 ... 33
• 2. 평가항목 및 정량적 목표 ... 33
• 제 2 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 34
• 1. 1차년도 기술개발의 목표 및 내용 ... 34
• 2. 2차년도 기술개발의 목표 및 내용 ... 71
• 3. 3차년도 기술개발의 목표 및 내용 ... 96
• 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 123
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 124
• 1. 연구개발 추진 일정 ... 124
• 2. 연구개발 추진 실적 ... 125
• 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 ... 128
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 131
• 1. 추진전략 ... 131
• 2. 추진체계 ... 132
• 3. 연구개발팀 편성도 ... 133
• 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 134
• 1. 연구개발사업성과의 사업화 가능성 ... 134
• 2. 시장규모 ... 134
• 3. 사업화 계획 및 무역수지 개선 효과 ... 136
• 제 4 장 FPD 제조공정 ... 138
• 제 1 절 FPD의 개요 ... 139
• 제 2 절 TFT-LCD의 제조공정 ... 139
• 1. TFT-LCD의 개요 ... 139
• 2. TFT-LCD 제조공정 ... 139
• 참고문헌 ... 147