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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-05 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 교육과학기술부 Ministry of Education and Science Technology(MEST) |
등록번호 | TRKO201300013181 |
과제고유번호 | 1345123711 |
사업명 | 중견연구자지원 |
DB 구축일자 | 2013-07-29 |
키워드 | 박막.원천기술.전하.화학기상증착.반도체.디스플레이.미케니즘.나노입자.클러스터 제어.Thin film.Source Technology.Charge.CVD.Semiconductor.Display.Mechanism.Nanoparticle.Cluster Control. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201300013181 |
연구의 목적 및 내용:
신 개념 박막 및 나노구조합성 기술로서, 전하를 띈 나노 입자의 생성 및 증착거동에 관하여 연구함으로써 화학증착에 의한 박막과 나노구조의 형성 기구를 규명하고 이들의 특성의 조절 및 개선이 가능한 기술을 개발한다. 이를 이용한 원천 기술의 확보 및 신기술 선점을 통하여 기술의 수요가 무한한 국내외 박막제조 산업 및 박막 장비산업 그리고 나노구조합성과 나노입자 측정 기술 분야에서 새로운 산업화의 길을 연다.
연구결과:
1. 박막 및 나노구조체 제조공정 중에 생성되는 하전된 나노입자를 측정할 수
Purpose & contents:
Establishment of the new theory of crystal growth by charged nanoparticles and its application for the development of new deposition technologies and equipments. Based on the new understanding on the deposition of charged nanoparticles, we will develop the new deposition metho
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