초록 ▼

III. 연구개발의 내용 및 범위
1. 전략소재 측정표준 확립
◦ 로크웰 경도 표준기 특성 평가
◦ 로크웰 경도 B 잣대용 구형 표준 누르개 개발 및 보급
◦ 탄성계수 측정 표준 개발을 위한 측정 불확도 평가 절차서 개발
◦ 인장 물성 측정 국제 실험 연구 결과 분석
◦ Soft X-ray 중화기 성능평가
◦ 초음파집속을 이용한 나노입자 분산기기 개발 및 성능평가
◦ Laser flash를 이용한 열확산도 CRM 개발
◦ Four-Point Probe Method를 이용한 CRM 재료

III. 연구개발의 내용 및 범위
1. 전략소재 측정표준 확립
◦ 로크웰 경도 표준기 특성 평가
◦ 로크웰 경도 B 잣대용 구형 표준 누르개 개발 및 보급
◦ 탄성계수 측정 표준 개발을 위한 측정 불확도 평가 절차서 개발
◦ 인장 물성 측정 국제 실험 연구 결과 분석
◦ Soft X-ray 중화기 성능평가
◦ 초음파집속을 이용한 나노입자 분산기기 개발 및 성능평가
◦ Laser flash를 이용한 열확산도 CRM 개발
◦ Four-Point Probe Method를 이용한 CRM 재료의 특성평가
◦ 6 Ω·cm, 12 Ω·cm, 60 Ω·cm 의 3종 CRM 개발
◦ 면저항 CRM(10 Ω/sq., 100 Ω/sq., 1000 Ω/sq.)의 국제비교
◦ 나노압입 시험기의 힘요소 교정기술 개발
◦ 나노압입 시험용 압자 3차원 형상측정기술 개발
◦ 나노압입 국제비교시험(APMP pilot lab) 수행 및 중경도 기준물질 개발(fused silica)
◦ XRR 두께 표준물질 제조 및 측정 불확도 평가
◦ 분말 X-선 회절선 교정용 표준물질 제조
◦ 분말 X-선 회절선 측정을 위한 시험 절차서 개발 및 측정 불확도 평가
◦ 노이즈 저항 측정표준 확립을 위한 불확도 평가 및 시험 검정 방법 연구
◦ 수소 재료의 고압 수소 분위기에서의 in situ 물성 특성
◦ 중공시험편을 이용한 인장시험법을 사용하여 316L 스테인리스강 및 X80 저합금강이 나타내는 고압 수소 분위기에서의 인장 특성 변화에 대하여 연구
◦ 가역투자율을 surface type probe로 측정하여 비파괴적으로 수소취화를 평가하는 기술 개발
◦ 다양한 수소침투 환경에서의 수소침투량 측정 연구
◦ 탄소나노튜브 시트를 이용한 수소 센서 제작 및 제어 기술 개발
◦ 스핀 전자 현미경의 측정 정량화 연구
◦ 스핀 전자 현미경이용 자성 탐침의 스핀 분극률 결정
◦ 고압발생장치와 자기장변화를 통한 빔의 최적화 및 나노기공 측정
◦ 나노 트라이볼로지 측정기술 표준화를 위한 나노소재 트라이볼로지 시험 및 절차서 개발
2. 첨단 진공공정 측정기술 개발 및 표준절차 확립
◦ 반도체, 디스플레이, 에너지 산업 등 다양한 첨단 진공공정의 진단에 사용할 수 있는 레이저 탐슨 산란 및 CCP 플라즈마 장치, FT-IR 및 리크/탈기체 측정 장치를 개발 및 구축

Abstract ▼

III. Contents and Scope
1. Establishment of measurement standards of advanced materials
◦ Evaluation of the Rockwell hardness uncertainty factors for new hardness standard machine
◦ Development of reference ball indenter of Rockwell hardness B scale and its dissemination to industry
◦ De

III. Contents and Scope
1. Establishment of measurement standards of advanced materials
◦ Evaluation of the Rockwell hardness uncertainty factors for new hardness standard machine
◦ Development of reference ball indenter of Rockwell hardness B scale and its dissemination to industry
◦ Development of standard procedure on uncertainty evaluation for elastic modulus measurement
◦ Analysis of results of pilot study on inter-laboratory comparison for tensile properties measurement
◦ Performance evaluation of the soft X-ray neutralizer
◦ Development and evaluation of ultrasonic homogenizer for nano-particle dispersion
◦ Development of CRM for the laser flash apparatus
◦ Property evaluation of materials for CRMs using the Four-Point Probe Method
◦ Development of three resistivity CRMs level 6 Ω·cm, 12 Ω·cm, 60 Ω·cm
◦ International comparison for the sheet resistance CRMs in the range of 10 Ω/sq., 100 Ω/sq. and 1000 Ω/sq.
◦ Development of the force calibration methodologies for a commercial nanoindenter, and 3D morphology measurements of nanoindenter
◦ Preparation and accomplishment of international comparison on nanoindentation as an APMP pilot lab, and development of reference material
◦ Development of XRR film-thickness reference materials and estimation of measurement uncertainty
◦ Development of test procedure for the measurement of X-Ray powder diffraction data and estimation of measurement uncertainty
◦ Evaluation of the uncertainty in noise resistance measurements and study on the methods for measurement of intrinsic noise in electrochemical noise measurement systems
◦ Study on hydrogen embrittlement characteristics of hydrogen materials
◦ Study on the effect of highly pressurized hydrogen gas on tensile properties of 316L and X80 steels using hollow tensile specimen technique
◦ Measurement of the hydrogen contents under various hydrogen environments
◦ Prediction methodology of hydrogen-induced embrittlement damages from reversible permeability signals
◦ Development of hydrogen detection sensor using carbon nano-tubes
◦ Development of quantitative measurement method of nano-magnetic properties using scanning electron microscopy with polarization analysis
◦ Quantitative measurement of spin polarization of nano-magnetic probes
◦ Design of secure positron/electron beam line and fabrication of HV power supply, auto-control bias power unit installed HV DC power supply system and radiation shield system
◦ Establishment of measurement procedure for nanotribological test
2. Diagnosis and standardization of industrial high-tech vacuum processes
◦ Constructions for laser Thomson scattering & CCP plasma, FT-IR, and leak/TDS measurement system for diagnosis of high-tech vacuum processes, which can be applied in semiconductor, display, and energy industries

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 3
• 보고서 요약서 ... 5
• 요약문 ... 7
• SUMMARY ... 11
• CONTENTS ... 17
• 목 차 ... 19
• 제1장 서 론 ... 21
• 제2장 전략소재 측정표준 확립 ... 23
• 제1절 서 론 ... 23
• 제2절 경도 측정표준 확립 ... 24
• 제3절 금속재료의 인장 특성 측정표준 확립 ... 42
• 제4절 SMPS를 이용한 나노입자 입도측정 ... 73
• 제5절 열특성 측정표준 확립 ... 96
• 제6절 비저항 특성 측정표준 확립 ... 107
• 제7절 나노압입 특성 측정표준 확립 ... 114
• 제8절 X-선 메트롤로지 측정표준 확립 ... 135
• 제9절 전기화학적 노이즈 저항 측정표준 확립 ... 171
• 제10절 수소재료 특성 측정표준 확립 ... 193
• 제11절 나노자성 측정기술 개발 및 측정표준 확립 ... 236
• 제12절 저속양전자 응용 측정기술 개발 및 측정표준 확립 ... 249
• 제13절 나노트라이볼로지 측정기술 개발 및 측정표준 확립 ... 262
• 제14절 결 론 ... 278
• 1. 국제상호비교시험 프로토콜 (KRISS-NMIJ) ... 281
• 2. 상온 탄성계수 측정불확도 평가절차 ... 297
• 3. SMPS에 의한 나노입자 크기분포 측정 시험방법 ... 313
• 4. 열확산도 표준물질 인증절차 ... 325
• 5. X-선 회절각(X-ray Diffraction Angle) 시험절차서 ... 341
• 6. 교류 분극저항 결정 시험절차서 ... 373
• 제3장 첨단 진공공정 측정기술 개발 및 표준절차 확립 ... 393
• 제1절 서 론 ... 393
• 제2절 진공공정 플라즈마물성 측정 및 표준화 ... 398
• 제3절 진공공정 반응기체 측정기술 개발 ... 423
• 제4절 첨단산업용 진공특성측정 및 평가기술 ... 440
• 제5절 결 론 ... 465
• 제4장 결 론 ... 467