초록 ▼

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
전기 신호를 전달하는 PCB 소자의 고집적화 및 소형화를 위하여 고유전성, 저유전 손실의 신개념 High-k 유-무기 복합재료를 설계, 합성하였으며 전자빔 조사를 통해 생산성 향상을 모색하였다. 또한 전자 전달 기반 반도체 소자의 한계를 뛰어넘기 위한 optical-PCB, 즉 광자 전달 기반의 반도체 소자의 개발을 위해 waveguide용 core 및 cladding 물질을 합성하고 전자빔을 조사한 소자를 제작했다. 이러한 신물질 개발을 위하여 저비용, 대량생산이 가능한 diol계의 유기화합물과

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
전기 신호를 전달하는 PCB 소자의 고집적화 및 소형화를 위하여 고유전성, 저유전 손실의 신개념 High-k 유-무기 복합재료를 설계, 합성하였으며 전자빔 조사를 통해 생산성 향상을 모색하였다. 또한 전자 전달 기반 반도체 소자의 한계를 뛰어넘기 위한 optical-PCB, 즉 광자 전달 기반의 반도체 소자의 개발을 위해 waveguide용 core 및 cladding 물질을 합성하고 전자빔을 조사한 소자를 제작했다. 이러한 신물질 개발을 위하여 저비용, 대량생산이 가능한 diol계의 유기화합물과 silane계의 무기화합물을 비가수 졸-젤 공정(nonhydrolytic sol-gel reaction)을 적용하여 합성하였으며, 전자빔 조사를 통해 열적, 화학적 안정성, 우수한 기계적 물성, 유전특성 또는 광특성을 가진 박막을 제조하고자 하였다.
이 외에도 비선형 광 특성을 갖는 3차 비선형 유기-무기 복합재료박막을 전자빔을 이용하여 제조하였으며, 이러한 광학특성을 이용하여 PLED 소자를 제작하였다.
합성된 무기 전구체들에는 이중결합 가교화를 위해 전자빔을 조사하고, 다양한 기질 위에 박막이 형성되는 것을 확인하여 전자빔조사 조건과 박막 표면구조간의 관계를 확립하는데 주안점을 두었다.

Abstract ▼

In an attempt to achieve high degree of integration and miniaturization of semiconductor devices, novel organic-inorganic hybrids with high permittivity and low dielectric loss are synthesized by nonhydrolytic sol-gel reaction under the radiation of electron beam. These hybrids can be synthesized by

In an attempt to achieve high degree of integration and miniaturization of semiconductor devices, novel organic-inorganic hybrids with high permittivity and low dielectric loss are synthesized by nonhydrolytic sol-gel reaction under the radiation of electron beam. These hybrids can be synthesized by various organic diols and inorganic silane precursors, displaying excellent thermal, chemical stability, mechanical and dielectric properties. The thin films of these organic-inorganic hybrids are prepared
by spin-coating under the radiation of electron beam. The second and third nonlinear optcal materials are also prepared by using these hybrid materials with the addition of chemically-modified dyes and conjugated compounds with electron beam and expect to be used in various optical devices. The surfaces of inorganic oxide nanoparticles are modified and mixed with these organic-inorganic hybrids to prepare dielectric materials to be used in various semiconductor devices.
○ Molecular design of organic and inorganic components and establishment of mixing and reaction conditions: by selection or molecular design of diols and inorganic precursors, as well as the establishment of the reaction condition for sol-gel reaction and mixing optimization ○ Establishment of nonhydrolytic sol-gel reaction and the preparation of organic-inorganic hybrid resins: organic-inorganic hybrid resins are prepared by nonhydrolytic sol-gel in the presence of catalyst and its reaction condition to be optimized
○ Preparation of high-k thin films by electron beam and optimization of processing variables: these hybrid resins are spin-coated onto the ITO substrates to form thin films under electron beam; various processing variables are evaluated and optimized.
○ Preparation of the second and third nonlinear optcal materials : these hybrid resins are mixed and reacted with dyes or conjugated compounds to produce the second and third nonlinear optcal materials by nonhydrolytic sol-gel reaction under the radiation of electron beam.
○ Surface modification of inorganic oxide nanoparticles and preparation of the composite with high permittivity: a series of high dielectric composite with inorganic oxide nanoparticles are prepared in the presence of catalyst by nonhydrolytic sol-gel reaction under the radiation of electron beam.
○ Evaluation and analysis of thin films: the characterization of the morphology and properties of thin films and optimization of processing conditions

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 5
• SUMMARY ... 8
• CONTENTS ... 9
• 목차 ... 10
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 11
• 제1절 연구개발의 목적 ... 11
• 제2절 연구개발의 필요성 및 범위 ... 13
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 15
• 제1절 국제 환경 ... 15
• 제2절 국내 환경 ... 16
• 제3절 국내외 연구 현황 ... 17
• 제3장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 18
• 제1절 Optical waveguide 물질의 합성과 공정 반응 개선 ... 18
• 제2절 High-k material 소재의 합성과 공정 반응 개선 ... 22
• 제3절 가교형 Polyfluorene의 합성과 반응 공정 개선 ... 24
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 28
• 제1절 목표달성도 및 내용 ... 28
• 제2절 평가의 착안점에 따른 목표달성도에 대한 자체평가 ... 28
• 제3절 관련분야 기술발전에의 기여도 ... 30
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 31
• 제1절 추가 연구의 필요성 ... 31
• 제2절 기업화, 추가연구 및 기술이전 기능성 ... 31
• 제6장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 32
• 제7장 참고문헌 ... 34