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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 권용구 |
참여연구자 | 조병건 , 임민호 , 고종환 , 노승주 , 전진아 , 진선진 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300017925 |
과제고유번호 | 1345150836 |
사업명 | 대형연구시설공동이용활성화지원분야 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 고유전성.전자빔.유기-무기 복합재료.졸-젤 반응.박막.반도체.high-k.electron-beam.organic-inorgan ic hybrid material.sol-gel process.thin film.semiconductor. |
Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
전기 신호를 전달하는 PCB 소자의 고집적화 및 소형화를 위하여 고유전성, 저유전 손실의 신개념 High-k 유-무기 복합재료를 설계, 합성하였으며 전자빔 조사를 통해 생산성 향상을 모색하였다. 또한 전자 전달 기반 반도체 소자의 한계를 뛰어넘기 위한 optical-PCB, 즉 광자 전달 기반의 반도체 소자의 개발을 위해 waveguide용 core 및 cladding 물질을 합성하고 전자빔을 조사한 소자를 제작했다. 이러한 신물질 개발을 위하여 저비용, 대량생산이 가능한 diol계의 유기화합물과
In an attempt to achieve high degree of integration and miniaturization of semiconductor devices, novel organic-inorganic hybrids with high permittivity and low dielectric loss are synthesized by nonhydrolytic sol-gel reaction under the radiation of electron beam. These hybrids can be synthesized by
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