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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서울대학교 Seoul National University |
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연구책임자 | 홍성현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201300017949 |
과제고유번호 | 1345148929 |
사업명 | 핵심연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
키워드 | 원자층 증착법.이중 나노 구조.산화물 반도체.반도체식 가스센서.광(UV) 감응 센서.나노선.박막.나노공학.지능형 소재.Atomic Layer Deposition.Hetero Nano-structure.Metal Oxide Semiconductor.Semiconductor gas sensor.Photo(UV) sensor.Nanowire.thin film.Nanotechnology.Smart Material. |
연구의 목적 및 내용
이중 나노 구조센서의 제작 및 변조를 통한 고감도 센서의 구현
- ALD 및 sputter를 이용한 산화물 반도체 박막 증착 기술의 확보
- 산화물 반도체 나노선의 공정 기술 및 배향 기술 확보
- 이중 나노 구조물의 제조 및 변조 기술 구현
- 이중 나노 구조를 이용한 고감도의 가스 및 광감응 센서 소자 제작
연구결과
1) ALD와 RF-Magnetron sputter를 이용한 박막 증착 및 특성 연구
- SnO2 박막의 기판에 따른 에피탁시얼 성
Purpose&contents
Fabrication of Hetero-nanostructured Smart Material for Gas and Photo Sensor
- Deposition of semiconductor metal-oxide thin film by ALD and RF-magnetron sputter
- Synthesis of well aligned and patterned metal oxide nanowires
- Fabrication and modification of hetero-nanos
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