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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전북대학교 Chonbuk National University |
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연구책임자 | 김대석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300018595 |
과제고유번호 | 1345188124 |
사업명 | 기본연구지원사업(후속연구지원) |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
■ 최종 연구목표 : 시편 표면 특성에 강인한 마이크로 나노기계물성 동시측정기술개발
√ 실시간 측정 및 측정 spot 최소화달성을 위한 snapshot입사각 변조 ellipsometry 기술개발
√ 실시간 측정기능을 가진 수직입사형 파장변조 ellipsometry 기술개발
■ 연구내용 요약
✔ 실시간 측정 및 측정 spot 최소화달성을 위한 snapshot입사각 변조 ellipsometry 기술개발
· 나노 패턴시료의 exit pupil plane 파면 복원 속도:10 frame/sec
· beam
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