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NTIS 바로가기주관연구기관 | 중앙대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 박창순 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300019080 |
과제고유번호 | 1345144490 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
반도체나 IT관련 부품제조를 위한 공정은 여러 개의 단위공정이 직렬로 연결되어 하나의 그룹공정을 형성하고 여러 그룹공정이 전체 공정을 형성하고 있으며 각 단위공정이 순차적으로 다음공정에 영향을 미치는 직렬복합공정으로 구성되어 있다. 부품제조업에서 수율은 기업의 사활이 달릴 정도로 중요한 문제이나 촉박한 시간경쟁과 대량 생산으로 인해 직렬복합공정의 여건에 맞는 특정한 공정관리기법이 적용되지 못하고 단위공정 위주로 개발된 공정관리기법이 그대로 사용되고 있는 것이 현실이다. 이런 직렬복합공정의 수율관리에는 기존의 단위공정별 모수에 추가적
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