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NTIS 바로가기주관연구기관 | 연세대학교 산학협력단 |
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연구책임자 | 박형호 |
참여연구자 | 최용준 , 최선규 , 김현철 , 하태정 , 김진용 , 정신영 , 이홍섭 , 이종석 , 정인근 , 이진석 , 홍민희 , 한우제 , 이태원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-09 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300019790 |
과제고유번호 | 1345144491 |
DB 구축일자 | 2013-09-14 |
키워드 | 투명전도성산화물,나노구조체,전자파차폐,직접패턴,산화아연TCO,nanostructure,EM-shielding,direct patterning,ZnO |
Ⅲ. 연구개발의 내용
본 연구는 크기가 제어된 Ag, Au 또는 Pt 나노구조체 (입자 또는 와이어)의 합성을 연구하여 Al, Ga 등의 dopant와 함께 첨가한 나노 하이브리드 산화물 박막의 형성을 통해 투명도의 저하 없이 투명 산화물 전극의 전기전도도 및 전자파 차폐 특성을 향상시키고자 하였다. 또한, 공정상의 용이성과 환경오염의 최소화 및 생산단가 절감 등을 모색하고자 포토레지스트 또는 건식식각 공정이 필요 없는 직접패턴공정을 도입하기 위해 UV 감응성이 우수한 MOD (Metal-organic deposition)용
◈ Contents
This investigation focuses on the synthesis of size controlled Ag, Au or Pt nanostructures (particle or wire) that could be used for Al, Ga doped nanohybrid TCO thin films to improve electrical conductivity and EMP shielding abilities without degrading transparency. Furthermore, develo
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