초록 ▼

Ⅲ. 연구개발의 내용
본 연구는 크기가 제어된 Ag, Au 또는 Pt 나노구조체 (입자 또는 와이어)의 합성을 연구하여 Al, Ga 등의 dopant와 함께 첨가한 나노 하이브리드 산화물 박막의 형성을 통해 투명도의 저하 없이 투명 산화물 전극의 전기전도도 및 전자파 차폐 특성을 향상시키고자 하였다. 또한, 공정상의 용이성과 환경오염의 최소화 및 생산단가 절감 등을 모색하고자 포토레지스트 또는 건식식각 공정이 필요 없는 직접패턴공정을 도입하기 위해 UV 감응성이 우수한 MOD (Metal-organic deposition)용

Ⅲ. 연구개발의 내용
본 연구는 크기가 제어된 Ag, Au 또는 Pt 나노구조체 (입자 또는 와이어)의 합성을 연구하여 Al, Ga 등의 dopant와 함께 첨가한 나노 하이브리드 산화물 박막의 형성을 통해 투명도의 저하 없이 투명 산화물 전극의 전기전도도 및 전자파 차폐 특성을 향상시키고자 하였다. 또한, 공정상의 용이성과 환경오염의 최소화 및 생산단가 절감 등을 모색하고자 포토레지스트 또는 건식식각 공정이 필요 없는 직접패턴공정을 도입하기 위해 UV 감응성이 우수한 MOD (Metal-organic deposition)용 나노 하이브리드 투명전도성 산화물 코팅용액을 개발하고 광화학반응에 의한 저온 상형성 유도기술을 확립하였다. 본 연구의 직접패턴형성 방법은 일반적인 건식식각을 이용한 패턴형성과정에서 발생할 수 있는 박막물성의 저하를 방지하고 디바이스의 안정성을 향상시킬 수 있는 새로운 패턴형성 과정이다. 금속 나노구조체의물리 • 화학적 모델링을 구축하고 전도성과 투명성 등을 최적화할 수 있는 출발물질과 광화학 반응속도 조절 등을 통하여 개발된 나노 하이브리드 투명전도성 산화막을 300℃이하의 저온증착을 통하여 형성하고 전자파 차폐재에 응용하여 표면저항 10³ Ω/□, 투명도 80 %이상 을 갖는 최적화된 투명전도성 산화물의 연구를 통해 EMI 차폐효율의 측정 및 분석을 바탕으로 전자파 차폐재로의 응용을 도모하고자 하였다.

Abstract ▼

◈ Contents
This investigation focuses on the synthesis of size controlled Ag, Au or Pt nanostructures (particle or wire) that could be used for Al, Ga doped nanohybrid TCO thin films to improve electrical conductivity and EMP shielding abilities without degrading transparency. Furthermore, develo

◈ Contents
This investigation focuses on the synthesis of size controlled Ag, Au or Pt nanostructures (particle or wire) that could be used for Al, Ga doped nanohybrid TCO thin films to improve electrical conductivity and EMP shielding abilities without degrading transparency. Furthermore, development of nanohybrid TCO coating solutions showing excellent UV response for MOD to introduce direct patterning process that does not require photoresist or dry etching process and establish photochemically induced low temperature phase formation technology in order to improve processibility, minimize environmental issue and reduce production cost. Direct patterning method employed in this investigation is a new patterning method that inhibits degradation of film qualities and improve device stability. Development of physico-chemical modeling of metal nanostructures and fabrication of nanohybrid TCO at the process temperature of under 300℃ by using starting materials that can optimize conductivity and transparency and by controlling photochemical reaction speed. For the application of nanohybrid TCO thin film on EMP shielding material, EMP shielding TCO thin film should be optimized on the point of view of surface resistance under 10³ Ω/□, transparency over 80%, and measurement of EMI shielding effectiveness for transparenet conducting oxides.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 8
• 목 차 ... 9
• 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 10
• 제 1 절 투명전도성 산화물 박막 ... 10
• 제 2 절 금속 나노입자의 특성 ... 18
• 제 3 절 고전도성 투명전도성 산화막의 전자파 차폐재 적용의 중요성 및 필요성 ... 23
• 제 2 장 국내외 기술개발현황 ... 35
• 제 1 절 전자파 차폐관련 국내외 기술동향 ... 35
• 제 2 절 국내외 연구개발 실적 ... 38
• 제 3 장 연구 수행의 추진 전략 및 체계 ... 44
• 제 1 절 연구수행의 추진전략 및 방법 ... 44
• 제 2 절 평가의 착안점 및 목표달성도 ... 50
• 제 4 장 전자파 차폐재 적용을 위한 나노복합체 박막의 연구개발수행 내용 및 결과 ... 53
• 제 1 절 나노구조체의 합성 및 특성 연구 ... 52
• 제 2 절 나노하이브리드 전도성 고분자 특성 연구 ... 61
• 제 3 절 광화학 증착법을 이용한 직접패턴형 나노하이브리드 투명전도성 산화물 박막의 특성 연구 ... 86
• 제 4 절 원자층 증착법을 이용한 이종원소가 도핑된 ZnO 박막의 특성 연구 ... 104
• 제 5 장 전자파 차폐특성 연구개발수행 내용 및 결과 ... 114
• 제 1 절 전자파 차폐특성 측정방법 ... 114
• 제 2 절 전자파 차폐특성 측정 결과 및 고찰 ... 117
• 제 3 절 연구개발 결과의 활용 ... 120
• 제 6 장 참고문헌 ... 124