![(a) 스퍼터 코팅된 ZnO:Al 박막 표면, (b) HCl 0.5% 용액에 의해 엣칭된 ZnO:Al 박막 표면[5]](https://nrms.kisti.re.kr/bitextimages/TRKO201300021561/TRKO201300021561_27_image_14.jpg "(a) 스퍼터 코팅된 ZnO:Al 박막 표면, (b) HCl 0.5% 용액에 의해 엣칭된 ZnO:Al 박막 표면[5]")
![SnO2:F 박막의 표면 형상[8]](https://nrms.kisti.re.kr/bitextimages/TRKO201300021561/TRKO201300021561_28_image_15.jpg "SnO2:F 박막의 표면 형상[8]")
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| 주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
|---|---|
| 연구책임자 | 최두선 |
| 참여연구자 | 강보식 , 강정식 , 경진호 , 김경식 , 김경호 , 김기돈 , 김기홍 , 김덕종 , 김동훈 , 김동훈 , 김봉섭 , 김완두 , 김인영 , 김재구 , 김재현 , 김정엽 , 김준동 , 박수아 , 박준식 , 박찬훈 , 박천홍 , 박현성 , 송창규 , 신동윤 , 심성보 , 심종엽 , 오정석 , 우창수 , 유영은 , 윤재성 , 이승현 , 이재경 , 이재종 , 이준희 , 이지혜 , 이찬홍 , 이택민 , 이학주 , 임형준 , 장봉균 , 장성환 , 장원석 , 전은채 , 정소희 , 정준호 , 제태진 , 조성학 , 조정대 , 차무현 , 최기봉 , 최대근 , 최병오 , 최병익 , 최준혁 , 한승우 , 한창수 , 한형석 , 허신 , 현승민 , 황경현 |
| 보고서유형 | 최종보고서 |
| 발행국가 | 대한민국 |
| 언어 | 한국어 |
| 발행년월 | 2011-01 |
| 과제시작연도 | 2010 |
| 주관부처 | 미래창조과학부 KA |
| 사업 관리 기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
| 등록번호 | TRKO201300021561 |
| 과제고유번호 | 1415111766 |
| 사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
| DB 구축일자 | 2013-10-26 |
| 키워드 | 초정밀 가공.공정혁신.기계부품.광에너지부품.롤 금형.Ultra-fine process.Process innovation.Machine component.Light-energey component.Roll mold. |
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