초록 ▼

III. 연구개발의 내용 및 범위
○ 고가속 진동 감쇠 메커니즘 설계 기술
- 고가속에 의하여 유발되는 진동을 능동적으로 저감할 수 있는 메커니즘(Anti-Reaction) 구조를 설계하고 해석하며 제작함
○ 고가속 진동 저감 제어 기술
- 고가속의 급속이송 및 단속 이송시 발생하는 충격량과 진동을 최소화하기 위하여 반력 제어 방법 및 Pre-filter를 이용한 능동 감쇠기법 등의 제어기술의 개발
○ 자기 베어링 이송 시스템 및 요소 설계/제작 기술
- 자기 베어링 시스템의 핵심 요소 기술 및

III. 연구개발의 내용 및 범위
○ 고가속 진동 감쇠 메커니즘 설계 기술
- 고가속에 의하여 유발되는 진동을 능동적으로 저감할 수 있는 메커니즘(Anti-Reaction) 구조를 설계하고 해석하며 제작함
○ 고가속 진동 저감 제어 기술
- 고가속의 급속이송 및 단속 이송시 발생하는 충격량과 진동을 최소화하기 위하여 반력 제어 방법 및 Pre-filter를 이용한 능동 감쇠기법 등의 제어기술의 개발
○ 자기 베어링 이송 시스템 및 요소 설계/제작 기술
- 자기 베어링 시스템의 핵심 요소 기술 및 최대 가속도 5G가 가능한 이송거리 1m 이상의 자기 베어링 탑재 단축 이송계의 설계 및 제작기술 개발 ○ 5자유도 자기부상 및 진동저감 제어 기술
- 다자유도 자기부상 시스템의 강인 안정화 제어기술 및 능동 진동 저감기술, 이송계의 이송정밀도 및 운동오차 제어기술 등을 통합한 시스템 통합 기술

Abstract ▼

The rapid developments in semiconductor industry demand innovative solutions to continuously push the frontiers of the achievable and there has been a huge demand for vacuum environment to increase productivity. To prepare for future technology, we set a goal to develop a high acceleration magnetic

The rapid developments in semiconductor industry demand innovative solutions to continuously push the frontiers of the achievable and there has been a huge demand for vacuum environment to increase productivity. To prepare for future technology, we set a goal to develop a high acceleration magnetic bearing stage with a vibration suppression mechanism. The technologies to be pursued in this research can be devided into three catagories:
- Design/manufacturing technology for magnetic bearing stages
- Active vibration suppression technology
- System integration and control of the high acceleration magnetic bearing stages
This research project had started from 2009. During the past years, the 1st prototype magnetic bearing stage and a vibration suppression mechanism were designed and manufactured and some of vibration suppression control algorithms was developed and tested. After three years research epriod we plan to achieve 5G (49 m/sec²) acceleration from a magnetic bearing stage with dramatic vibration suppression. We believe that the core technologies from our research will be used for electron-beam machining applications in a vacuum environment but also for other high precision machine tools with high acceleration.

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 6
• CONTENTS ... 6
• 목차 ... 8
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 9
• 제1절 연구개발의 필요성 ... 9
• 1. 기술적 측면 ... 9
• 2. 경제, 산업적 측면 ... 9
• 3. 사회, 문화적 측면 ... 11
• 제2절 연구개발의 목표 및 내용 ... 12
• 1. 연구개발의 목표 ... 12
• 2. 연구개발의 내용 ... 13
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 15
• 제1절 국외기술개발 현황 ... 15
• 제2절 국내기술개발 현황 ... 18
• 제3장 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 19
• 제1절 자기베어링 스테이지 기본설계 및 해석 ... 19
• 제2절 3G 자기베어링 스테이지 시스템 제작 및 진동 저감 메커니즘 통합 ... 22
• 제3절 고가속 자기베어링 이송테이블의 동역학 해석 ... 25
• 제4절 진동 감쇠 메커니즘의 설계 및 제작 ... 27
• 제5절 베어링 간극 측정을 위한 Optimal State Estimation ... 28
• 제6절 5자유도 진동 모델 및 과도 진동 복합 제어 알고리즘 시뮬레이션 ... 30
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 32
• 제5장 연구개발결과의 활용계획 ... 33