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롤기반 차세대 나노/마이크로 연속 생산시스템 원천기술 개발
Development of Core Technologies for Continuous Nano/Micro-manufacturing Systems 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
연구책임자 우창수
참여연구자 강보식 , 강재훈 , 강정식 , 강희신 , 경진호 , 공주 , 김경식 , 김경한 , 김경호 , 김기돈 , 김기홍 , 김덕종 , 김동훈 , 김두형 , 김민아 , 김병인 , 김봉섭 , 김양진 , 김영철 , 김완두 , 김인영 , 김재구 , 김재현 , 김정엽 , 김정오 , 김준동 , 노지환 , 도현민 , 박경택 , 박동일 , 박수아 , 박준식 , 박중호 , 박찬훈 , 박천홍 , 박철훈 , 박현성 , 박희창 , 서정 , 손영수 , 손현기 , 송준엽 , 송찬호 , 신동식 , 신동윤 , 신영재 , 심성보 , 심종엽 , 안국영 , 오정석 , 우창수 , 유영은 , 윤덕균 , 윤동원 , 윤소남 , 윤재성 , 이상민 , 이성휘 , 이승우 , 이승현 , 이양래 , 이영덕 , 이용범 , 이재경 , 이재종 , 이재학 , 이제훈 , 이준희 , 이지혜 , 이찬홍 , 이창우 , 이택민 , 이학주 , 임선종 , 임현의 , 임형준 , 장봉균 , 장성환 , 장원석 , 장윤석 , 전은채 , 정광조 , 정소희 , 정주연 , 정준호 , 제태진 , 조성학 , 조정대 , 차무현 , 최기봉 , 최대근 , 최두선 , 최병오 , 최병익 , 최상규 , 최준혁 , 최지연 , 하태호 , 한승우 , 한창수 , 한형석 , 함상용 , 함영복 , 허신 , 허필우 , 현승민 , 황경현 , 황주호
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2012-01
과제시작연도 2011
주관부처 미래창조과학부
KA
사업 관리 기관 한국기계연구원
Korea Institute of Machinery and Materials
등록번호 TRKO201300021605
과제고유번호 1415118432
사업명 한국기계연구원연구운영비지원
DB 구축일자 2013-10-05
키워드 연속성형시스템.롤투롤.롤 패터닝.인쇄전자.유연 소자.레이저 미세가공.핫 엠보싱.초정밀 가공.그린에너지.Continuous Manufacturing.Roll patterning.Roll-to-roll.Printed Electronics.flexible devices.laser micro-machining.Hot embossing.Ultra-fine process.Green energy.

초록

Ⅱ. 연구개발의 목적 및 필요성
○ 본 연구개발의 목적은 제조 공정에서 기존의 고가의 노광공정, 성막 공정, 에칭 공정 등을 대체하여 전도성, 절연성, 반도체성 등의 다양한 재료와 연속 생산시스템을 사용하여 나노/마이크로 기계요소부품 및 차세대 전자소자 등을 제조하는 공정 및 시스템을 개발하는 것임. 이를 통하여 Flexible Device 생산시스템 및 고효율 광전 에너지소자 제조장비용 차세대 나노/마이크로 양산용 연속생산시스템의 핵심 원천기술을 개발하고, 실용화 기술을 확보함.

Abstract

II. Objective and Motivation
○ The research for roll based continuous Nano/Micro manufacturing system is in its initial stage in the world. Therefore, it is required to develope core technologies of continuous Nano/micro-manufacturing systems for electro-mechanical systems, printed electronics, f

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 보고서 초록 ... 3
  • 요 약 문 ... 4
  • S U M M A R Y ... 11
  • C O N T E N T S ... 17
  • 목 차 ... 18
  • 제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 19
  • 제 1 절 연구개발의 목적 및 필요성 ... 19
  • 제 2 절 연구개발의 범위 ... 26
  • 제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 34
  • 제 1 절 국내외 기술 및 연구개발 동향 ... 34
  • 제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 80
  • 제 1 절 나노기반 연속생산시스템 핵심요소기술 개발 ... 80
  • 제 2 절 미세 롤 패터닝 장비 핵심기술 개발 ... 106
  • 제 3 절 마이크로 연속생산장비 핵심요소 기술 개발 ... 166
  • 제 4 절 프린팅 롤 광응용 미세 패터닝 기술 개발 ... 258
  • 제 5 절 핫 엠보싱 공정용 히팅롤 설계 및 제어기술 개발 ... 297
  • 제 6 절 고효율 포토닉스 부품 생산 핵심시스템 개발 ... 384
  • 제 7 절 그린에너지기기 양산화기술지원센터 구축사업 ... 416
  • 제 8 절 3차원 나노구조체 제조기술 고도화 사업 ... 546
  • 제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 564
  • 제 1 절 사업 진도 및 추진 실적 ... 564
  • 제 2 절 당해연도 연구성과 ... 569
  • 제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 577
  • 제 6 장 참고문헌 ... 585

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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