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NTIS 바로가기주관연구기관 | 서일대학 |
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연구책임자 | 황현석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201300023400 |
과제고유번호 | 1345149923 |
사업명 | 기본연구지원사업 |
DB 구축일자 | 2013-08-26 |
1. 연구목표
본 연구의 목적은 대표적인 압전물질이며, 전기기계결합계수가 높아 센서로 응용시 특성이 우수한 PZT와 BZT를 이용하여 고정도이며, 열악한 외부환경에서 적용가능한 압전센서를 제작하는 방법을 연구코자 한다. 이를 위하여 RF 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 박막형으로 구현하고, 샌드위치 구조, 공동 (cavity)을 가지는 다이어프램 구조를 검토하고 일반적 적극형태인 상하부 전극뿐만 아니라 빗살형 전극 (Interdigitated electrodes; IDE)을 이중으로 설계함으로서 고감도, 고속 응답의 특성을
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