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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)비아트론 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-06 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
과제관리전문기관 | 한국에너지기술평가원 Korea Energy Technology Evaluation Institute |
등록번호 | TRKO201300024740 |
과제고유번호 | 1415113703 |
사업명 | 신재생에너지기술개발(전력) |
DB 구축일자 | 2013-09-14 |
키워드 | 박막태양전지.투명전도막.상압 기상화학증착장비. |
핵심기술
APCVD 증착 방법을 이용한 5 세대용 TCO (투명 전도막) 코팅 시스템 제작 및 성막 기술 개발
최종목표
TCO를 성막하기 위한 5세대 APCVD 양산 시스템을 제작하고자 하며, 세부 기술로는 대면적 증착용 Injector 개발, 대면적 가열 및 냉각노 개발, 전기적/광학적 특성이 우수한 Precursor 개발, 유리 기판 이송 및 반송에 대응하는 handling 시스템 개발을 하고자 하며, 최종적으로 대면적 증착 장비의 양산성 검증을 확립하고자 한다.
개발내용 및 결과
투명전극 성막용 AP
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