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박막태양전지 투명전극 성막용 APCVD 제조장비 개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 (주)비아트론
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2011-06
과제시작연도 2010
주관부처 지식경제부
Ministry of Knowledge Economy
등록번호 TRKO201300024740
과제고유번호 1415113703
사업명 신재생에너지기술개발(전력)
DB 구축일자 2013-09-14
키워드 박막태양전지.투명전도막.상압 기상화학증착장비.

초록 ▼

핵심기술
APCVD 증착 방법을 이용한 5 세대용 TCO (투명 전도막) 코팅 시스템 제작 및 성막 기술 개발
최종목표
TCO를 성막하기 위한 5세대 APCVD 양산 시스템을 제작하고자 하며, 세부 기술로는 대면적 증착용 Injector 개발, 대면적 가열 및 냉각노 개발, 전기적/광학적 특성이 우수한 Precursor 개발, 유리 기판 이송 및 반송에 대응하는 handling 시스템 개발을 하고자 하며, 최종적으로 대면적 증착 장비의 양산성 검증을 확립하고자 한다.
개발내용 및 결과
투명전극 성막용 AP

목차 Contents

  • 제 출 문 ... 1
  • 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 2
  • 기술개발사업 주요 연구성과 ... 5
  • 목 차 ... 8
  • 제 1 장 서론 ... 9
  • 제 1 절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 9
  • 제 2 절 국내.외 관련 기술의 현황 ... 9
  • 제 3 절 기술개발 시 예상되는 기술적.경제적 파급 효과 ... 15
  • 제 2 장 기술개발 내용 및 방법 ... 18
  • 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 18
  • 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 20
  • 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 21
  • 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 28
  • 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 28
  • 1. 연구개발 추진 일정 ... 28
  • 2. 연구개발 추진 실적 ... 30
  • 3. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 52
  • 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 59
  • 1. 총 개발 기간 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 59
  • 2. 1 차년도 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 61
  • 2. 2 차년도 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 63
  • 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 65

표/그림 (57)

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