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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-02 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201300024897 |
과제고유번호 | 1415113943 |
사업명 | 에너지자원기술개발지원 |
DB 구축일자 | 2013-09-14 |
키워드 | 박막형 열전 모듈.MEMS 공정.초격자.하이브리드 탐침. |
핵심기술
◦ 열전 나노구조체 박막 소재를 개발하고 박막형 열전 모듈 해석/설계기술을 바탕으로 박막형 열전모듈 MEMS 공정 기술개발
◦ 열전특성 측정평가 및 이미징 기술개발
최종목표
고성능 열전 나노구조체 박막을 이용한 박막형 열전모듈 개발
◦ 박막형 열전모듈 및 MEMS 공정 기술 개발
◦ 열전 나노구조체 박막 소재 개발
◦ 나노구조체/나노박막 열전 특성 측정기술개발
◦ ZT >1.3인 저차원 나노구조체 임베디드형(Bi, Sb)2(Te, Se)3
목차 Contents
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