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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국화학연구원 Korea Research Institute of Chemical Technology |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201300025155 |
과제고유번호 | 1415120338 |
사업명 | 에너지자원융합원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2013-09-14 |
키워드 | 온실가스.반도체/LCD공정.불화가스.분리막.흡착컬럼.분리농축시스템.전처리기술.촉매식스크러버.PFC.SF6. |
핵심기술
- 분리농축 시스템 : 분리막 및 분리막/흡착컬럼을 이용한 고효율 분리농축 시스템 구축
- 전처리 기술 : 인입 분진 90% 이상 제거 기술
- 집적 촉매식 스크로버 : 고효율 촉매 개발 및 SF6 90%이상 제거효율 설비 구축
최종목표
가. 저 농도 폐 PFCs 농축기술 개발 및 시스템 구축
○ 저 농도 PFCs 농축기술 개발
: 농축도:24-40, 회수율:80 %이상, 처리용량:10 LPM
○ 10LPM급 농축시스템 구축
: 전산모사를 통한 50LPM
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