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NTIS 바로가기주관연구기관 | 화인테크놀리지 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2011-07 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 산업통상자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업단지공단 Korea Industrial Complex Corporation |
등록번호 | TRKO201300030223 |
과제고유번호 | 1415110701 |
DB 구축일자 | 2013-10-05 |
키워드 | 기판,열박리Carrier,Copper,CCL |
1. 최종목표
초박막 적층 패키지에 적용되고 있는 초박막 패키지용 반도체 기판의 제조공정 중의 운송 및 가공에 적합한 케리어로 copper 및 반도체 기판 중간체에 부착되어 점착력 1500gf/25mm이상을 유지 하며 부착 후에 copper 및 반도체 기판 중간체의 휨 정도가 정반에서 5mm이내의 휨 정도를 나타내어야 하며 가공이 끝이 난 후 열처리 온도 170℃에서 점착력이 10gf/25mm 이하로 감소되어 copper 및 반도체용 기판에 다시 부착되거나 오염을 발생시켜서는 안된다. 또한 이러한 화학 캐리어의 경우 가열 냉각
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